[实用新型]一种圆晶磨片夹具有效
| 申请号： | 201921546895.3 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN210588791U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 杨振山 | 申请（专利权）人： | 苏州芯玖微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 圆晶磨片 夹具 | ||
1.一种圆晶磨片夹具，包括夹具主体、气吸机构以及固定臂，其特征在于：所述夹具主体右侧安装有固定臂，所述夹具主体内部设置有气吸机构；
所述气吸机构包括橡胶条、吸附孔、旋转座、通气阀、转子外壳、空心定轴、吸气泵、第一轴承、永磁体、导线绕组以及第二轴承，所述夹具主体左侧安装有旋转座，所述旋转座左端面装配有橡胶条，所述旋转座左端面开设有吸附孔，所述旋转座右端面装配有通气阀，所述旋转座右侧装配有转子外壳，所述转子外壳环形侧面内侧装配有永磁体，所述转子外壳内部装配有空心定轴，所述空心定轴环形侧面右侧装配有第一轴承，所述空心定轴环形侧面左侧装配有第二轴承，所述空心定轴环形侧面装配有导线绕组，所述固定臂内部装配有吸气泵。
2.根据权利要求1所述的一种圆晶磨片夹具，其特征在于：所述旋转座左端面开设有环形卡槽，所述橡胶条嵌入在环形卡槽内部，所述橡胶条设有多组，且多组橡胶条在一个同心圆。
3.根据权利要求1所述的一种圆晶磨片夹具，其特征在于：所述转子外壳左端面装配有密封垫，所述转子外壳环形侧面装配有螺栓，所述转子外壳通过螺栓与旋转座左端面相连接。
4.根据权利要求1所述的一种圆晶磨片夹具，其特征在于：所述通气阀右侧装配有密封旋塞。
5.根据权利要求1所述的一种圆晶磨片夹具，其特征在于：所述导线绕组通过导线与外界电源相连接，所述空心定轴右侧装配有导气管，所述空心定轴通过导气管与吸气泵相连接。
6.根据权利要求1所述的一种圆晶磨片夹具，其特征在于：所述吸气泵通过导线与外界电源相连接，所述吸气泵上侧开设有排气孔。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州芯玖微电子有限公司，未经苏州芯玖微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921546895.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电化学反应器
- 下一篇：一种用于真空助力器的前壳气封支撑板拉伸装置
