[实用新型]一种圆晶磨片夹具

说明书

本实用新型提供一种圆晶磨片夹具，包括橡胶条、吸附孔、旋转座、通气阀、转子外壳、空心定轴、吸气泵、第一轴承、永磁体、导线绕组以及第二轴承，夹具主体左侧安装有旋转座，旋转座左端面装配有橡胶条，旋转座左端面开设有吸附孔，旋转座右端面装配有通气阀，旋转座右侧装配有转子外壳，转子外壳环形侧面内侧装配有永磁体，转子外壳内部装配有空心定轴，空心定轴环形侧面右侧装配有第一轴承，空心定轴环形侧面左侧装配有第二轴承，空心定轴环形侧面装配有导线绕组，固定臂内部装配有吸气泵，该设计解决了原有圆晶磨片不方便有效夹持的问题，本实用新型结构合理，便于有效夹持圆晶磨片。

技术领域

本实用新型是一种圆晶磨片夹具，属于圆晶磨片加工技术领域。

背景技术

圆晶是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶。圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶。

圆晶在进行打磨阶段需要对其进行夹持，但是由于圆晶磨片质地比较脆弱，不能直接用机械手进行夹持，但以往缺乏有效的圆晶磨片夹持工具，现有的圆晶磨片不方便有效夹持，现在急需一种圆晶磨片夹具来解决上述出现的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种圆晶磨片夹具，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型结构合理，便于有效夹持圆晶磨片。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种圆晶磨片夹具，包括夹具主体、气吸机构以及固定臂，所述夹具主体右侧安装有固定臂，所述夹具主体内部设置有气吸机构，所述气吸机构包括橡胶条、吸附孔、旋转座、通气阀、转子外壳、空心定轴、吸气泵、第一轴承、永磁体、导线绕组以及第二轴承，所述夹具主体左侧安装有旋转座，所述旋转座左端面装配有橡胶条，所述旋转座左端面开设有吸附孔，所述旋转座右端面装配有通气阀，所述旋转座右侧装配有转子外壳，所述转子外壳环形侧面内侧装配有永磁体，所述转子外壳内部装配有空心定轴，所述空心定轴环形侧面右侧装配有第一轴承，所述空心定轴环形侧面左侧装配有第二轴承，所述空心定轴环形侧面装配有导线绕组，所述固定臂内部装配有吸气泵。

进一步地，所述旋转座左端面开设有环形卡槽，所述橡胶条嵌入在环形卡槽内部，所述橡胶条设有多组，且多组橡胶条在一个同心。

进一步地，所述转子外壳左端面装配有密封垫，所述转子外壳环形侧面装配有螺栓，所述转子外壳通过螺栓与旋转座左端面相连接。

进一步地，所述通气阀右侧装配有密封旋塞。

进一步地，所述导线绕组通过导线与外界电源相连接，所述空心定轴右侧装配有导气管，所述空心定轴通过导气管与吸气泵相连接。

进一步地，所述吸气泵通过导线与外界电源相连接，所述吸气泵上侧开设有排气孔。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种圆晶磨片夹具，因本实用新型添加了橡胶条、吸附孔、旋转座、通气阀、转子外壳、空心定轴、吸气泵、第一轴承、永磁体、导线绕组以及第二轴承，该设计能有效通过气吸的方式有效吸附圆晶磨片，解决了原有圆晶磨片不方便有效夹持的问题，提高了本实用新型的气吸夹持性。

因旋转座左端面开设有环形卡槽，橡胶条嵌入在环形卡槽内部，橡胶条设有多组，且多组橡胶条在一个同心圆，该设计通过多组橡胶条起到气密作用，通过吸附孔有效将圆晶磨片吸附固定，因通气阀右侧装配有密封旋塞，该设计通过将通气阀打开方便取下圆晶磨片，因导线绕组通过导线与外界电源相连接，空心定轴右侧装配有导气管，空心定轴通过导气管与吸气泵相连接，该设计使吸气泵通过空心定轴将旋转座内部减压，方便对圆晶磨片进行吸附，因吸气泵通过导线与外界电源相连接，吸气泵上侧开设有排气孔，该设计使吸气泵有效工作，本实用新型结构合理，便于有效夹持圆晶磨片。

附图说明