[实用新型]用于晶片缺陷检测的显微镜载物台及晶片缺陷检测装置

权利要求书

1.一种用于晶片缺陷检测的显微镜载物台，其特征在于，包括面板，所述面板上沿其横向滑动设置有横向标尺和纵向滑动设置有纵向标尺，横向标尺上移动设置有第一激光定位器，纵向标尺上移动设置有第二激光定位器。

2.根据权利要求1所述的用于晶片缺陷检测的显微镜载物台，其特征在于，所述横向标尺上安装有横向移动支座，横向移动支座上固定有第一激光定位器；纵向标尺上安装有纵向移动支座，纵向移动支座上固定有第二激光定位器。

3.根据权利要求1所述的用于晶片缺陷检测的显微镜载物台，其特征在于，所述面板上横向设置有横向滑轨和纵向设置有纵向滑轨，横向标尺安装在横向滑轨上，纵向标尺安装在纵向滑轨上。

4.根据权利要求3所述的用于晶片缺陷检测的显微镜载物台，其特征在于，所述横向滑轨的一端与纵向滑轨的一端连接，横向标尺通过横向滑动支座在横向滑轨内滑动，纵向标尺通过纵向滑动支座在纵向滑轨内滑动。

5.根据权利要求1所述的用于晶片缺陷检测的显微镜载物台，其特征在于，所述第一激光定位器和第二激光定位器均为能调节激光光线角度的激光器。

6.根据权利要求1所述的用于晶片缺陷检测的显微镜载物台，其特征在于，所述横向标尺和纵向标尺的靠中部位置上均安装有微型吸附器。

7.根据权利要求1所述的用于晶片缺陷检测的显微镜载物台，其特征在于，所述面板由半透明材料或透明材料制成。

8.根据权利要求7所述的用于晶片缺陷检测的显微镜载物台，其特征在于，所述载物台上设置有超细光纤。

9.根据权利要求1所述的用于晶片缺陷检测的显微镜载物台，其特征在于，还包括固定板，固定板中心设有通光孔，面板滑动配合在固定板上侧。

10.一种晶片缺陷检测装置，其特征在于，其具有权利要求1-9任一项所述的显微镜载物台。