[实用新型]半导体设备制程厂房的微震监测装置

权利要求书

1.一种半导体设备制程厂房的微震监测装置，包括传感器(13)和数据处理显示器(1)，所述传感器(13)与所述数据处理显示器(1)之间设置有电线(2)，其特征在于：所述传感器(13)的外壁套设有保护管(5)，所述保护管(5)的侧壁设置有用于卡紧传感器(13)的抵紧件(17)，所述保护管(5)的上端卡接有管盖(10)，所述管盖(10)包括盖板一(3)和盖板二(4)，所述盖板一(3)与所述盖板二(4)于侧壁的一端铰接，所述管盖(10)与垂直所述管盖(10)拆分线的侧壁上固定连接有合页一(8)，所述保护管(5)的上端于所述合页一(8)的对称位置处固定连接有合页二(9)，所述合页一(8)与所述合页二(9)之间设置有紧固件(16)。

2.根据权利要求1所述的半导体设备制程厂房的微震监测装置，其特征在于：所述抵紧件(17)包括抵杆(7)和卡手(19)，所述保护管(5)的侧壁开设有通孔(21)，所述抵杆(7)穿设过所述通孔(21)抵接于所述传感器(13)的外壁，所述卡手(19)固定连接于所述抵杆(7)朝向所述传感器(13)的一端。

3.根据权利要求2所述的半导体设备制程厂房的微震监测装置，其特征在于：所述卡手(19)与所述保护管(5)的侧壁之间于所述抵杆(7)上套设有压缩弹簧(18)，所述压缩弹簧(18)的一端与所述卡手(19)固定连接，所述压缩弹簧(18)的另一端与所述保护管(5)的内壁固定连接。

4.根据权利要求2所述的半导体设备制程厂房的微震监测装置，其特征在于：所述卡手(19)朝向所述传感器(13)的一端固定连接有防护层(20)。

5.根据权利要求1所述的半导体设备制程厂房的微震监测装置，其特征在于：所述保护管(5)的底端固定连接有供所述传感器(13)的顶端放置的抵接台(14)。

6.根据权利要求1所述的半导体设备制程厂房的微震监测装置，其特征在于：所述紧固件(16)包括螺柱(12)与螺母(11)，所述螺柱(12)穿设过所述合页一(8)与所述合页二(9)，且于所述合页二(9)的下端与所述螺母(11)螺旋连接。

7.根据权利要求1所述的半导体设备制程厂房的微震监测装置，其特征在于：所述管盖(10)底端固定连接有密封板(15)，所述密封板(15)于所述管盖(10)的分割线处拆分两半。

8.根据权利要求1所述的半导体设备制程厂房的微震监测装置，其特征在于：所述保护管(5)朝向地面的一侧固定连接有底脚(6)。

9.根据权利要求1所述的半导体设备制程厂房的微震监测装置，其特征在于：所述传感器(13)的朝向所述保护管(5)底的一端设置为圆锥台状。