[实用新型]半导体设备制程厂房的微震监测装置

说明书

本实用新型涉及一种半导体设备制程厂房的微震监测装置，涉及地震监测设备的技术领域，解决了传感器埋入地下时，由于土地内的氧化物质会对传感器的表面进行氧化磨损的问题，其包括传感器和数据处理显示器，传感器与数据处理器之间设置有电线，传感器的外壁套设有保护管，保护管的侧壁设置有用于卡紧传感器的抵紧件，保护管的上端卡接有管盖，管盖包括盖板一和盖板二，盖板一与盖板二于侧壁的一端铰接，管盖与垂直管盖拆分线的侧壁上固定连接有合页一，保护管的上端于合页一的对称位置处固定连接有合页二，合页一与合页二之间设置有紧固件。本实用新型具有减少传感器在地下产生氧化损坏的效果。

技术领域

本实用新型涉及地震监测设备的技术领域，尤其是涉及一种半导体设备制程厂房的微震监测装置。

背景技术

岩石工程动力灾害的研究表明，不管是冲击地压、矿震等煤矿矿山动力灾害问题，还是岩石工程动力灾害失稳问题，都是与工程活动过程中的应力场扰动所诱发的微破裂萌生、发展、贯通等岩石破裂过程失稳的结果。任何岩体在宏观破坏前一般都会产生许多细小的微破裂。因此，不管是哪种岩石动力灾害，在多数情况下，在动力灾害出现之前，都有微破裂前兆。而诱发微破裂活动的直接原因则是岩层中应力或应变增加的结果。这些微破裂会以弹性能释放的形式产生弹性波，而弹性波可被安装在有效范围内的传感器接收。利用多个传感器接收这种弹性波信息，通过反演方法就可以得到岩体微破裂发生的时刻、位置和性质，即地球物理学中所谓的“时空强”三要素。根据微破裂的大小、集中程度、破裂密度，则有可能推断岩石宏观破裂的发展趋势，这就是微震监测技术。

半导体设备制程厂房在进行半导体制程时需要掌握实时的环境情况，在晃动的环境下进行半导体的制作是比较危险的。

现有的微震监测装置是将传感器埋入地下通过导线将传感器与数据读取装置连接，通过观察数据对环境状况进行实时的监测。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：传感器是金属制品，在将传感器埋入地下时，由于土地内的氧化物质会对传感器的表面进行氧化磨损，有改进空间。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种减少传感器在地下产生氧化损坏的半导体设备制程厂房的微震监测装置。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种半导体设备制程厂房的微震监测装置，包括传感器和数据处理显示器，所述传感器与所述数据处理显示器之间设置有电线，所述传感器的外壁套设有保护管，所述保护管的侧壁设置有用于卡紧传感器的抵紧件，所述保护管的上端卡接有管盖，所述管盖包括盖板一和盖板二，所述盖板一与所述盖板二于侧壁的一端铰接，所述管盖与垂直所述管盖拆分线的侧壁上固定连接有合页一，所述保护管的上端于所述合页一的对称位置处固定连接有合页二，所述合页一与所述合页二之间设置有紧固件。

通过采用上述技术方案，通过将传感器放入保护管内，通过管盖与保护管配合，进一步的通过合页一和合页二紧固将保护管密封，具有减少传感器在地下产生氧化损坏的效果。

本实用新型进一步设置为：所述抵紧件包括抵杆、卡手，所述保护管的侧壁开设有通孔，所述抵杆穿设过所述通孔抵接于所述传感器的外壁，所述卡手固定连接于所述抵杆朝向所述传感器的一端。

通过采用上述技术方案，通过抵紧件可以使得传感器稳定的将传感器抵紧，抵杆穿设过保护管的侧壁可穿插进土地内，使得保护管于土地之间的连接的更加稳定。

本实用新型进一步设置为：所述卡手与所述保护管的侧壁之间于所述抵杆上套设有压缩弹簧，所述压缩弹簧的一端与所述卡手固定连接，所述压缩弹簧的另一端与所述保护管的内壁固定连接。

通过采用上述技术方案，通过压缩弹簧可以使得卡手与传感器的侧壁的抵紧效果更佳。

本实用新型进一步设置为：所述卡手朝向所述传感器的一端固定连接有防护层。