[实用新型]一种探测器芯片

权利要求书

1.一种探测器芯片，其特征在于：包括衬底、有源层、N型电极、P型电极、支撑柱，所述衬底上设置有源层，所述有源层包括N型半导体层、P型半导体层、吸收层，N型半导体层、P型半导体层、吸收层从下至上依次设置，所述吸收层为InGaAs吸收层，去掉所述有源层的一部分以露出衬底，所述衬底和有源层上设置N型电极和P型电极，所述支撑柱设置在衬底上或有源层上，且支撑柱的最高点高于P型电极的最高点。

2.根据权利要求1所述的一种探测器芯片，其特征在于：所述支撑柱的截面为圆形或者多边形。

3.根据权利要求2所述的一种探测器芯片，其特征在于：所述支撑柱的数量为一个，设置在芯片四个边角处的其中一个；或者所述支撑柱的数量为两个，设置在芯片四个边角处中对称的两个；或者所述支撑柱的数量为四个，分别设置在芯片的四个边角处。

4.根据权利要求2或3所述的一种探测器芯片，其特征在于：所述衬底为磷化铟衬底、硅衬底或砷化镓衬底。