[实用新型]一种花篮安装机构及不良硅片收集装置有效
申请号: | 201921555223.9 | 申请日: | 2019-09-18 |
公开(公告)号: | CN210640195U | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 张学强;戴军;张建伟;罗银兵;李圣鹤 | 申请(专利权)人: | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/687;H01L21/677 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 查杰 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 花篮 安装 机构 不良 硅片 收集 装置 | ||
1.一种花篮安装机构,其特征在于:所述的花篮安装机构包括顶板、底板、后侧板,花篮安装在所述的顶板与底板之间,所述的顶板上安装有一上定位气缸、在所述的上定位气缸的驱动下能够上下移动的上定位头,所述的底板上安装有花篮夹持机构。
2.如权利要求1所述的一种花篮安装机构,其特征在于:花篮安装机构的底板上还安装有用于放置花篮的花篮放置座。
3.如权利要求2所述的一种花篮安装机构,其特征在于:所述的花篮夹持机构包括一固定轴、可转动地套设在所述的固定轴上的所两个夹持块、连接在两个夹持块之间的第一连杆和第二连杆,所述的第二连杆上套设有一夹持移动块,所述的底板上还安装有一夹持气缸,所述的夹持气缸包括一夹持活塞杆,所述的夹持活塞杆的端部连接至所述的夹持移动块,所述的夹持移动块在所述的夹持气缸的驱动下沿垂直于固定轴的方向移动,所述的夹持移动块带动所述的夹持块绕固定轴转动,第一连杆和第二连杆分别位于所述的固定轴的上下两侧。
4.如权利要求3所述的一种花篮安装机构,其特征在于:所述的夹持块上开设有夹持部,所述的夹持部为能够供花篮的底部卡入的凹陷区。
5.如权利要求4所述的一种花篮安装机构,其特征在于:所述的夹持移动块上开设有一沿上下方向设置的长孔,所述的第二连杆穿过所述的长孔,并能够相对所述的长孔上下移动。
6.如权利要求1所述的一种花篮安装机构,其特征在于:所述的上定位头的锥形结构。
7.一种不良硅片收集装置,其特征在于,所述的收集装置包括权利要求1~6任意一项所述的一种花篮安装机构。
8.如权利要求7所述的一种不良硅片收集装置,其特征在于:所述的收集装置还包括能够驱动所述的花篮安装机构上下移动的升降机构、将硅片输送至花篮中的硅片传输机构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造