[实用新型]一种离子注入机映像装置有效
| 申请号： | 201921555563.1 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN211350566U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 金明;何伟;黄帅曦;黄鹏 | 申请（专利权）人： | 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 杨帆 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 映像 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子注入机映像装置，其特征在于，包括发射装置和接收装置，所述发射装置与所述接收装置设置在待映像物体的两侧，所述发射装置为激光发射器，所述激光发射器具有接近开关，所述接近开关用于控制所述激光发射器的开启和关闭，所述发射装置还包括联锁盒子和支撑架，所述联锁盒子包括第一端口和第二端口。
2.根据权利要求1所述的映像装置，其特征在于，所述激光发射器被设置用于垂直地照射所述待映像物体。
3.根据权利要求1所述的映像装置，其特征在于，所述联锁盒子的所述第一端口设置所述接近开关。
4.根据权利要求1所述的映像装置，其特征在于，所述联锁盒子的所述第二端口设置所述激光发射器。
5.根据权利要求1所述的映像装置，其特征在于，所述接收装置包括激光接收器和柜门。
6.根据权利要求5所述的映像装置，其特征在于，所述激光接收器被设置接收所述激光发射器发出的射线。
7.根据权利要求5所述的映像装置，其特征在于，所述柜门设置在所述接近开关的感应区，所述接近开关感应所述柜门的开启或关闭。
8.根据权利要求5所述的映像装置，其特征在于，所述接近开关感应根据所述柜门的开启或关闭通过所述联锁盒子控制所述激光发射器的关闭或开启。
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