[实用新型]一种离子注入机映像装置

说明书

本实用新型公开了一种离子注入机映像装置，其特征在于，包括发射装置和接收装置，所述发射装置与所述接收装置设置在待映像物体的两侧，所述发射装置为激光发射器。本实用新型提供的技术方案，使用激光发射器，更简单高效地映像出晶圆数量，节省人力物力的同时，提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及映像装置领域，尤其是一种离子注入机映像装置。

背景技术

长期以来，离子注入机E500总会出现映像报错问题，尤其是对于少片数产品(非满批25片)，由于映像出的晶圆数量与MES(制造执行系统)信息不符，机台就会自动将此批材料锁定，设备工程师需要重新校正/更换映像传感器，而制程工程师需要对产品解除锁定。增加人力加载的同时，关机影响机台正常工作时间，而产品锁定需要制程工程师解除，影响材料的时效性。

现有技术中用灯泡提供光源，聚焦后在接收端接收。现有技术中的灯泡会因长期使用的损耗产生亮度衰退或灯丝变形，从而改变原先调整好的聚焦状态，进而产生失焦造成映像异常；或者灯泡支撑架因灯泡发热产生的高温而劣化变形甚至断裂，进而产生失焦造成映像异常。

为解决现有技术中灯泡灯丝易变形，寿命短易失焦，表面温度高，校正时间长等问题，本实用新型提供一种离子注入机映像装置，通过使用映像装置，更简单高效地映像出晶圆数量，节省人力物力的同时，提高工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种离子注入机映像装置，更简单高效地映像出晶圆数量，节省人力物力的同时，提高工作效率。

基于上述目的，本实用新型提供一种离子注入机映像装置，包括发射装置和接收装置，发射装置与接收装置设置在待映像物体的两侧，发射装置为激光发射器。

进一步地，激光发射器被设置用于垂直地照射待映像物体。

进一步地，激光发射器具有接近开关，接近开关用于控制激光发射器的开启和关闭。

进一步地，发射装置还包括联锁盒子和支撑架，联锁盒子包括第一端口和第二端口。

进一步地，联锁盒子的第一端口设置接近开关。

进一步地，联锁盒子的第二端口设置激光发射器。

进一步地，接收装置包括激光接收器和柜门。

进一步地，激光接收器被设置接收激光发射器发出的射线。

进一步地，柜门设置在接近开关的感应区，接近开关感应柜门的开启或关闭。

进一步地，接近开关感应根据柜门的开启或关闭通过联锁盒子控制激光发射器的关闭或开启。

本实用新型具有以下有益技术效果：本实用新型提供的离子注入机映像装置所使用的激光发射器无灯丝，寿命长不失焦，低电流损耗温度低，安装简单不需繁琐校正。通过使用本实用新型提供的映像装置，更简单高效地映像出晶圆数量，节省人力物力的同时，提高工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的实施例。

图1为本实用新型一实施例提供的映像装置示意图。

其中：10-发射装置；20-接收装置；11-激光发射器；12-接近开关；13-联锁盒子；14-第一端口；15-第二端口；21-激光接收器；22-柜门。

具体实施方式