[实用新型]一种真空镀膜机的单板气动阀门装置

权利要求书

1.一种真空镀膜机的单板气动阀门装置，其特征在于，包括真空腔室、阀门铰链装置、气缸装置；

所述真空腔室与阀门铰链装置通过螺钉相固定连接；

所述气缸装置包括气缸、气缸固定板、第一气管接头、第二气管接头、气缸连接杆、气缸支撑杆；

所述真空腔室与气缸装置通过气缸固定板利用螺钉相固定连接；

所述阀门铰链装置与气缸装置通过气缸连接杆利用螺母锁紧固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的单板气动阀门装置，其特征在于，所述阀门铰链装置包含第一铰链座、第二铰链座、铰链板、第一铰链销、第二铰链销、第三铰链销、第四铰链销、连接柱、连接板、阀门压板、压簧、塞打螺钉。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机的单板气动阀门装置，其特征在于，所述阀门压板与真空腔室间设有密封圈槽。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机的单板气动阀门装置，其特征在于，所述的阀门压板为整体成型结构。

5.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机的单板气动阀门装置，其特征在于，所述密封圈槽端面配合设置O型密封圈。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的单板气动阀门装置，其特征在于，所述单板气动阀门装置包括第一阀门铰链、第二阀门铰链和第三阀门铰链。