[实用新型]一种真空镀膜机的单板气动阀门装置

说明书

本实用新型涉及真空镀膜机领域，尤其涉及一种真空镀膜机的单板气动阀门装置，其特征在于，包括真空腔体、阀门铰链装置、气缸装置；所述真空腔室与阀门铰链装置通过螺钉相固定连接；所述气缸装置包括气缸、气缸固定板、第一气管接头、第二气管接头、气缸连接杆、气缸支撑杆；所述真空腔室与气缸装置通过气缸固定板利用螺钉相固定连接；所述阀门铰链装置与气缸装置通过气缸连接杆利用螺母锁紧固定连接。该阀门装置，加工方便，结构简单，降低阀门加工成本，同时增强阀门运行工作时的稳定性，延长整个阀门的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及挡板阀技术领域，尤其涉及用于真空气动挡板阀门。

背景技术

在常规真空系统中，真空插板阀用来连接、隔绝任意相邻真空腔室的组成部件。主要作用：当需要单个真空腔室进行工作或维护时，将两个真空腔室隔绝，使真空腔室内的真空环境不被破坏。

国内现有的真空插板阀，结构复杂，阀体大，成本高，制作工艺复杂；阀门保养维护不便，容易出现松动或漏气现象，从而影响整阀的使用寿命及密封效果。

实用新型内容

为了改进现有技术中，真空插板阀的结构复杂，阀体大，制作工艺复杂，密封效果不理想，成本高等缺点，本实用新型提高一种真空镀膜机单板气动阀门装置。

本实用新型提供一种真空镀膜机的单板气动阀门装置，其特征在于，该真空镀膜机单板气动阀门装置包括真空腔室、阀门铰链装置、气缸装置；所述真空腔室与阀门铰链装置通过螺钉相固定连接；所述气缸装置包括气缸、气缸固定板、第一气管接头、第二气管接头、气缸连接杆、气缸支撑杆；所述真空腔室与气缸装置通过气缸固定板利用螺钉相固定连接。

进一步地，所述阀门铰链装置包含第一铰链座、第二铰链座、铰链板、第一铰链销、第二铰链销、第三铰链销、第四铰链销、连接柱、连接板、阀门压板、压簧、塞打螺钉；

进一步地，所述阀门压板与真空腔室间设有密封圈槽；

进一步地，所述的阀门压板为整体成型结构；

进一步地，所述密封圈槽端面配合设置O型密封圈；

进一步地，所述单板气动阀门装置包括第一阀门铰链、第二阀门铰链和第三阀门铰链。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型提供的一种真空镀膜机单板气动阀门，利用气动原理，结构简单可靠，安装便利，成本低，密封效果好，可大规模应用推广。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了单板气动阀门的结构示意图；

图2示出了一种真空镀膜腔室与单板气动阀门的结构示意图；

图3示出了一种多个气动阀门驱动的单板阀门结构示意图

图中，1、第一铰链座；2、第二铰链座；3、铰链板；4、第一铰链销； 5、第二铰链销；6、第三铰链销；7、连接柱；8、连接板；9、阀门压板； 11、压簧；22、塞打螺钉；23、气缸；24、气缸固定板；25、第1气管接头； 26、第2气管接头；27、气缸连接杆；28、真空腔室；29、气缸支撑杆、螺钉16。

具体实施方式