[实用新型]一种腔体隔绝环有效
| 申请号： | 201921560509.6 | 申请日： | 2019-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN210596245U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;汪涛 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 隔绝 | ||
1.一种腔体隔绝环，其特征在于，所述的腔体隔绝环包括环状主体和位于其底部的环状底座，所述的环状底座为环形凹槽结构，所述的环状主体与环状底座的外周面相接，所述的环状底座的外周壁上开设至少一个通孔。
2.根据权利要求1所述的腔体隔绝环，其特征在于，所述的环状底座包括同心嵌套的外周环壁和内周环壁，外周环壁位于内周环壁外围，外周环壁的底部和内周环壁的底部通过环形薄层连接，所述的外周环壁、内周环壁和环形薄层形成环形凹槽结构。
3.根据权利要求2所述的腔体隔绝环，其特征在于，所述的外周环壁的厚度为3～5mm；
所述的外周环壁的内侧面直径为550～600mm。
4.根据权利要求3所述的腔体隔绝环，其特征在于，所述的内周环壁的厚度为1.5～3.5mm。
5.根据权利要求4所述的腔体隔绝环，其特征在于，所述的环形薄层的厚度≥2mm。
6.根据权利要求5所述的腔体隔绝环，其特征在于，所述的环形凹槽结构的两个外侧面之间的宽度为15～35mm。
7.根据权利要求6所述的腔体隔绝环，其特征在于，沿所述的外周环壁的环向开设至少一层通孔，位于同一层内的通孔之间的孔间距相等。
8.根据权利要求7所述的腔体隔绝环，其特征在于，沿所述的外周环壁的环向开设8层通孔，在高度方向上各层通孔之间的距离相等。
9.根据权利要求8所述的腔体隔绝环，其特征在于，所述的通孔孔径为1.5～3.5mm。
10.根据权利要求9所述的腔体隔绝环，其特征在于，最底层通孔的轴线与所述环形薄层底面之间的距离为4～6mm。
11.根据权利要求10所述的腔体隔绝环，其特征在于，沿所述的环状主体环向一周设置凸台。
12.根据权利要求11所述的腔体隔绝环，其特征在于，所述的凸台上纵向开设至少一个贯穿的定位孔。
13.根据权利要求12所述的腔体隔绝环，其特征在于，所述的定位孔为沉头孔。
14.根据权利要求13所述的腔体隔绝环，其特征在于，所述的凸台上纵向开设12个贯穿的定位孔；
所述的定位孔的孔间距相等。
15.根据权利要求14所述的腔体隔绝环，其特征在于，所述的环状主体为环形薄壁结构。
16.根据权利要求15所述的腔体隔绝环，其特征在于，所述的环状主体的壁厚为5～8mm。
17.根据权利要求16所述的腔体隔绝环，其特征在于，所述的环状主体的高度为70～80mm。
18.根据权利要求17所述的腔体隔绝环，其特征在于，所述的环状主体的外径为600～610mm。
19.根据权利要求18所述的腔体隔绝环，其特征在于，所述的腔体隔绝环的总高度为100～120mm。
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