[实用新型]一种循环槽体潜排系统

权利要求书

1.一种循环槽体潜排系统，包括硅片（1）、主槽（3）和副槽（8），其特征在于：

所述主槽（3）的两侧均设有溢流区（6），主槽（3）上设有挡水板（5），溢流区（6）通过管道与副槽（8）连通，主槽（3）的上部设有多个间隔均匀分布的传动辊（10）；

所述循环槽体潜排系统还包括潜排组件和用于将副槽（8）内的腐蚀液输送到主槽（3）内的输送组件。

2.根据权利要求1所述的循环槽体潜排系统，其特征在于：

所述潜排组件包括潜排管（2）和汇流管道，相邻两个传动辊（10）之间设有潜排管（2），潜排管（2）的排水口位于主槽（3）内腐蚀液的液面下侧，潜排管（2）与汇流管道连通，汇流管道与副槽（8）连通。

3.根据权利要求2所述的循环槽体潜排系统，其特征在于：

所述输送组件包括水泵（7）和进液管（4）；

所述进液管（4）设置在主槽（3）的底部，水泵（7）的进口通过管道与副槽（8）连通，水泵（7）的出口通过管道与进液管（4）连通。

4.根据权利要求1-3任一所述的循环槽体潜排系统，其特征在于：

所述溢流区（6）设置在硅片（1）运动方向上的主槽（3）的前后两端。

5.根据权利要求4所述的循环槽体潜排系统，其特征在于：

所述硅片（1）的上表面附有保护液（9），保护液（9）为水。

6.根据权利要求1所述的循环槽体潜排系统，其特征在于：

所述主槽（3）与副槽（8）之间的循环管道上设有控制通量的阀门。