[实用新型]半导体设备用的紫外光灯源装置

权利要求书

1.一种半导体设备用的紫外光灯源装置，其特征在于，其包含：

一灯板承载座；

多个灯帽，设置于该灯板承载座上并设有多个抗紫外线保护层，且该些个抗紫外线保护层覆盖该些个灯帽的内缘；

多个灯脚，穿设于该些个灯帽，电性连接一输入电源；及

一光源电路板，设置于该灯板承载座上并电性连接该些个灯脚，以产生一未滤波驱动电源，该光源电路板上设有多个紫外线发光元件，该些个紫外线发光元件依据该未滤波驱动电源发出光线。

2.如权利要求1所述的半导体设备用的紫外光灯源装置，其特征在于，其中，该些个抗紫外线保护层进一步覆盖该些个灯帽的外缘。

3.如权利要求1所述的半导体设备用的紫外光灯源装置，其特征在于，其中，该些个发光元件为紫外线发光元件，该些个发光元件的主波长为400-315nm、315-280nm、280-100nm或上述的组合。

4.如权利要求2所述的半导体设备用的紫外光灯源装置，其特征在于，其中，该些个发光元件的发光角度为30~160度。

5.如权利要求4所述的半导体设备用的紫外光灯源装置，其特征在于，其中，该些个发光元件为单一角度光源或多种角度混合光源。

6.如权利要求5所述的半导体设备用的紫外光灯源装置，其特征在于，其中，该些个发光元件为一第一发光角度与一第二发光角度混合的多种角度混合光源，该第一发光角度大于该第二发光角度。

7.如权利要求5所述的半导体设备用的紫外光灯源装置，其特征在于，其中，该些个发光元件由该光源电路板的中心向外延伸设置，设置于该光源电路板中心的该些个发光元件的发光角度小于非设置于该光源电路板中心的该些个发光元件的发光角度。

8.如权利要求1所述的半导体设备用的紫外光灯源装置，其特征在于，更包含一外罩，设置于该灯板承载座上并覆盖该光源电路板与部分该些个灯帽。

9.如权利要求1所述的半导体设备用的紫外光灯源装置，其特征在于，其中，该些个灯脚的其中一者进一步电性连接一保险丝。

10.一种半导体设备用的紫外光灯源装置，其特征在于，其包含：

一灯板承载座；

多个灯帽，设置于该灯板承载座上并设有多个抗紫外线保护层，且该些个抗紫外线保护层覆盖该些个灯帽的内缘；

多个灯脚，穿设于该些个灯帽，电性连接一输入电源；

一光源电路板，设置于该灯板承载座上并位于该些个灯帽与该些个灯脚之间；

多个高频高阻抗组件，设置于该光源电路板上并电性连接该些个灯脚，以电性连接一输入电源并输出一驱动电源；

多个半波二极管，设置于该光源电路板上并电性连接该些个高频高阻抗组件，整流该驱动电源并产生一未滤波驱动电源；及

多个发光元件，设置于该光源电路板上并电性连接该些个半波二极管，依据该未滤波驱动电源发出光线。

11.如权利要求10所述的半导体设备用的紫外光灯源装置，其特征在于，其中，该些个高频高阻抗组件为高频电感器或热敏电阻或点减器。

12.如权利要求10所述的半导体设备用的紫外光灯源装置，其特征在于，其中，该些个发光元件由该光源电路板的中心向外延伸设置，设置于该光源电路板中心的该些个发光元件的发光角度小于非设置于该光源电路板中心的该些个发光元件的发光角度。

13.如权利要求10所述的半导体设备用的紫外光灯源装置，其特征在于，其中，该些个发光元件为紫外线发光元件， 该些个发光元件的主波长为400-315nm、315-280nm、280-100nm或上述的组合。

14.如权利要求10所述的半导体设备用的紫外光灯源装置，其特征在于，其中，该些个灯脚的其中一者进一步电性连接一保险丝。