[实用新型]半导体设备用的紫外光灯源装置

说明书

本新型揭示一种半导体设备用的紫外光灯源装置，其包含一灯板承载座、一光源电路板与多个灯帽。光源电路板设置于该灯板承载座，并产生一未滤波驱动电源直接驱动多个发光元件。如此，在无外加驱动电源下驱动，减少光源电路板的电路使用面积。

技术领域

本新型是有关于一种灯源装置，尤其是一种半导体设备用的紫外光灯源装置。

背景技术

紫外线(英语：Ultraviolet，简称为UV)，为波长在10nm至400nm之间的电磁波，波长比可见光短，但比X射线长。虽然紫外线不属于游离辐射但紫外线仍会引发化学反应与使一些物质发出荧光。紫外线应用于灯具可简单地定义在各种电子工业领域。例如：超高压汞氙短弧灯、高压水银灯、金属卤化物灯、高压氙气弧灯、低压水银灯、紫外线荧光灯、准分子灯、氘灯、高压钠灯等各式气体放电灯。再者，紫外线灯可用于紫外线干燥、固化、曝光、晒版、制版、晶圆半导体微影照射、面板制造、太阳能电池、材料工程、生化、环境科研等。

紫外线灯又称伍德灯(Wood's lamp)或黑光灯，是发射长波紫外线(UV-A)和少量可见光的灯，又叫做UV-A灯，黑光灯有深紫色的过滤材料，在电灯泡上或者在分开的玻璃过滤器中，用来过滤可见光，同时允许紫外线通过。但有时会因为可见光过滤不完全而在启动时发出可见的紫光。

紫外线灯管的设计可以如发光二极管灯管包含光源电路板，且光源电路板皆会设置滤波电容器。滤波电容器接收整流器整流后的交流电源，并将交流电源滤波为直流电源。直流电源用于驱动发光元件的产生光线。然而，滤波电容器设置于光源电路板上，使光源电路板的使用面积增大。如此，灯管亦须配合光源电路板提升整体的尺寸，导致灯管的成本上升。

鉴于上述问题，本新型提供一种半导体设备用的紫外光灯源装置，其无需使用滤波电容器，达到降低光源电路板的面积使用率。

实用新型内容

本新型的目的，在于提供一种半导体设备用的紫外光灯源装置，其有效减少电路使用面积。

本新型揭示一种半导体设备用的紫外光灯源装置，其包含一灯板承载座、一光源电路板与多个灯帽。该些个灯帽包含多个抗紫外线保护层覆盖该些个灯帽的内缘，抗紫外线保护层可为胶带形式贴覆在灯帽或直接混和于材料成形灯帽，该材料主成分可为金属粉末、二氧化硅、橡胶、等承受得住紫只外光材料该些个灯帽设置于灯板承载座。该些个灯脚穿设于该些个灯帽以接收外部电源(输入电源)。光源电路板设置于该灯板承载座上并电性连接该些个灯脚，以产生一未滤波驱动电源，而光源电路板上的该些个发光元件设置于该些个灯帽之间并电性连接该光源电路板，以依据该未滤波驱动电源发出光线。因此本新型藉由光源电路板直接以未滤波驱动电源驱动该些个发光元件，而简化电路配置，进而缩减光源电路板与灯板承载座的面积。

本新型提供一实施例，其在于该些个抗紫外线保护层进一步覆盖该些个灯帽的外缘。

本新型提供一实施例，其在于该些个发光元件为一紫外线发光元件，该些个发光元件的主波长为400-315nm、315-280nm、280-100nm或上述的组合。

本新型提供一实施例，其在于该些个发光元件的发光角度为30～160度。

本新型提供一实施例，其在于该些个发光元件为单一角度光源或多种角度混合光源。

本新型提供一实施例，其在于该些个发光元件为一第一发光角度与一第二发光角度混合的多种角度混合光源，该第一发光角度大于该第二发光角度。

本新型提供一实施例，其在于该些个发光元件由该光源电路板的中心向外延伸设置，设置于该光源电路板中心的该些个发光元件的发光角度小于非设置于该光源电路板中心的该些个发光元件的发光角度。

本新型提供一实施例，其在于该紫外光灯源装置进一步包含一外罩，该外罩设置于灯板承载座上并覆盖该光源电路板与部分该些个灯帽。