[实用新型]水平砷化镓单晶切片用粘接台及精准粘接装置有效
申请号: | 201921565377.6 | 申请日: | 2019-09-19 |
公开(公告)号: | CN211682936U | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 李爱兵;于洪国;张伟;越云雷;韩建;张艳生;李彬;曹宝欢 | 申请(专利权)人: | 有研光电新材料有限责任公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00 |
代理公司: | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人: | 董李欣 |
地址: | 065001 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 水平 砷化镓单晶 切片 用粘接台 精准 装置 | ||
1.一种水平砷化镓单晶切片用粘接台,其特征在于,所述粘接台的横截面呈L型结构,包括相互连接的水平台(1)和竖直台(2),且所述水平台(1)的水平台面和所述竖直台(2)的竖直台面互成90°夹角,且所述夹角的误差为±0.005°;
所述水平台(1)和所述竖直台(2)均为长方体结构,且所述水平台(1)的长度为300~500mm,宽度为200~400mm,高度为20~40mm;所述竖直台(2)的长度为300~500mm,宽度为100~200mm,高度为10~30mm。
2.根据权利要求1所述的水平砷化镓单晶切片用粘接台,其特征在于,所述水平台(1)的长度为400mm,宽度为300mm,高度为30mm;所述竖直台(2)的长度为400mm,宽度为150mm,高度为20mm。
3.根据权利要求1所述的水平砷化镓单晶切片用粘接台,其特征在于,所述水平台(1)的承重≥50Kg,其材质为铸铁。
4.一种精准粘接装置,其特征在于,包括光源(4)、模板(3)以及权利要求1-3任一项所述的水平砷化镓单晶切片用粘接台,其中,所述模板(3)的一侧面与所述水平台(1)紧靠定位,所述模板(3)的另一侧面与所述竖直台(2)紧靠定位,并且与所述水平台(1)紧靠定位的一侧面和与所述竖直台(2)紧靠定位的另一侧面为相邻侧面;所述光源(4)用于提供照射光。
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