[实用新型]一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置有效
| 申请号： | 201921565590.7 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN210604583U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 金向华;魏入铎;王新喜;孙猛;许军州 | 申请（专利权）人： | 苏州金宏气体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G01N1/22 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 姚惠菱 |
| 地址： | 215152 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 稀释 测量 氯化 水分 装置 | ||
1.一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置，包括三氯化硼气源和水分分析仪，其特征在于，还包括稀释气源和采样系统，所述三氯化硼气源和所述稀释气源通过所述采样系统连接所述水分分析仪，所述采样系统包括第一管段、第二管段以及第三管段，所述第一管段的入口连接至所述三氯化硼气源，所述第二管段的入口连接至所述稀释气源，所述第一管段的出口和所述第二管段出口连接至所述第三管段的入口，所述第三管段的出口连接至所述水分分析仪的入口。
2.如权利要求1所述的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，其特征在于，所述稀释气源为超纯氮气气源。
3.如权利要求1所述的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，其特征在于，所述水分分析仪为微量水分分析仪。
4.如权利要求3所述的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，其特征在于，所述微量水分分析仪为Tiger Optics HALO3微量水分析仪。
5.如权利要求1所述的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，其特征在于，所述采样系统还包括缓冲加热管和过滤器，所述第三管段的出口连接至所述缓冲加热管的入口，所述缓冲加热管的出口连接至所述过滤器的入口，所述过滤器的出口连接至所述水分分析仪的入口。
6.如权利要求1所述的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，其特征在于，还包括负压发生器和负压系统，所述水分分析仪和所述采样系统通过所述负压系统连接所述负压发生器，所述负压系统包括第五管段、第六管段以及第七管段，所述第五管段的入口连接至所述采样系统，所述第六管段的入口连接至所述水分分析仪的出口侧管路，所述第七管段的入口连接至所述第五管段和所述第六管段，所述第七管段的出口连接至所述负压发生器。
7.如权利要求6所述的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，其特征在于，所述负压系统包括两条并列的所述第五管段，两条所述第五管段的入口分别连接所述采样系统的不同位置。
8.如权利要求1所述的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，其特征在于，所述采样系统的各管段采用316L电抛光不锈钢直管。
9.如权利要求1所述的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，其特征在于，所述采样系统的各管段的接头采用VCR连接结构。
10.如权利要求1所述的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，其特征在于，所述采样系统的各阀门采用金属膜片并且无死角。
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