[实用新型]一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置

说明书

本实用新型公开了一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置，包括三氯化硼气源和水分分析仪，还包括稀释气源和采样系统，所述三氯化硼气源和所述稀释气源通过所述采样系统连接所述水分分析仪，所述采样系统包括第一管段、第二管段以及第三管段，所述第一管段的入口连接至所述三氯化硼气源，所述第二管段的入口连接至所述稀释气源，所述第一管段的出口和所述第二管段出口连接至所述第三管段的入口，所述第三管段的出口连接至所述水分分析仪的入口。本实用新型公开的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，通过将三氯化硼进行稀释，再进行水分测试，然后根据稀释浓度计算三氯化硼稀释前的水分值，可以测试三氯化硼中较高浓度水分值。

技术领域

本实用新型涉及气体检测领域，具体涉及一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置。

背景技术

随着科学研究的发展和生产技术的进步，水分的定量分析已被列为各类物质理化分析的基本项目之一，作为各类物质的一项重要的质量指标。根据不同形式试样中的不同水分含量提出了测定水分的不同要求。水分测定可以是工业生产的控制分析，也可是工农业产品的质量鉴定；可以从成吨计的产品中测定水分也可在实验室中仅用数微升试液进行水分分析；可以是含水量达百分之几至几十的常量水分分析，也可是含水量仅为百万分之一以下的痕量水分分析等等。这些仪器测定方法操作简便、灵敏度高、再现性好,并能连续测定，自动显示数据。国外的水分测定仪器价格昂贵，是国内的一些实验室、企业无法承受的。

目前的水分测试方法，均是针对痕量、微量水分测试，不能满足对三氯化硼中较高浓度水分测试。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置，可以测试三氯化硼中较高浓度水分值。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置，包括三氯化硼气源和水分分析仪，还包括稀释气源和采样系统，所述三氯化硼气源和所述稀释气源通过所述采样系统连接所述水分分析仪，所述采样系统包括第一管段、第二管段以及第三管段，所述第一管段的入口连接至所述三氯化硼气源，所述第二管段的入口连接至所述稀释气源，所述第一管段的出口和所述第二管段出口连接至所述第三管段的入口，所述第三管段的出口连接至所述水分分析仪的入口。

进一步的，所述稀释气源为超纯氮气气源。

进一步的，所述水分分析仪为微量水分分析仪。

进一步的，所述微量水分分析仪为Tiger Optics HALO3微量水分析仪。

进一步的，所述采样系统还包括缓冲加热管和过滤器，所述第三管段的出口连接至所述缓冲加热管的入口，所述缓冲加热管的出口连接至所述过滤器的入口，所述过滤器的出口连接至所述水分分析仪的入口。

进一步的，还包括负压发生器和负压系统，所述水分分析仪和所述采样系统通过所述负压系统连接所述负压发生装置，所述负压系统包括第五管段、第六管段以及第七管段，所述第五管段的入口连接至所述采样系统，所述第六管段的入口连接至所述水分分析仪的出口侧管路，所述第七管段的入口连接至所述第五管段和所述第六管段，所述第七管段的出口连接至所述负压发生装置。

进一步的，所述负压系统包括两条并列的所述第五管段，两条所述第五管段的入口分别连接所述采样系统的不同位置。

进一步的，所述采样系统的各管段采用316L电抛光不锈钢直管。

进一步的，所述采样系统的各管段的接头采用VCR连接结构。

进一步的，所述采样系统的各阀门采用金属膜片并且无死角。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1)本实用新型公开的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，通过将三氯化硼进行稀释，再进行水分测试，然后根据稀释浓度计算三氯化硼稀释前的水分值，可以测试三氯化硼中较高浓度水分值；