[实用新型]一种荧光膜检测设备有效
申请号: | 201921570096.X | 申请日: | 2019-09-20 |
公开(公告)号: | CN210894133U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 刘振辉;庞华贵;林港睿;李方;蔺龙 | 申请(专利权)人: | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 荧光 检测 设备 | ||
1.一种荧光膜检测设备,其特征在于:所述荧光膜检测设备(100)设置有,
基板(20);
料盒安装部(30),通过第一竖直滑轨(31)连接于基板(20),所述料盒安装部(30)能够沿所述第一竖直滑轨(31)沿竖直方向运动;所述料盒安装部(30)用于放置并固定料盒(301);
取料部(40),通过第二竖直导轨(41)连接于第一水平导轨(42),所述第一水平导轨(42)固定于支撑部(43);
载料部(50),用于放置待测试的荧光膜;所述取料部(40)能够将荧光膜沿第一水平导轨(42)传送到载料部(50);
所述取料部(40)从料盒(301)取荧光膜水平高度等于载料部(50)水平高度;所述取料部(40)沿第二竖直导轨(41)运动的距离小于料盒(301)中相邻两张荧光膜之间的距离。
2.根据权利要求1所述的荧光膜检测设备,其特征在于:所述荧光膜检测设备(100)还包括,
检测光源(61),连接于基板(20);
积分球(62),连接于基板(20)且收光口(621)位于检测光源(61)正上方。
3.根据权利要求2所述的荧光膜检测设备,其特征在于:所述检测光源(61)能够发出蓝色光。
4.根据权利要求2所述的荧光膜检测设备,其特征在于:载料部(50)包括透明放料部(51)和运动连接部(52);所述运动连接部(52)通过XY导轨连接于基板(20);所述透明放料部(51)用于放置荧光膜,所述透明放料部(51)通过多个竖直立柱(53)连接于运动连接部(52)。
5.根据权利要求4所述的荧光膜检测设备,其特征在于:所述载料部(50)能够沿XY导轨运动使透明放料部(51)位于检测光源(61)和积分球(62)之间。
6.根据权利要求5所述的荧光膜检测设备,其特征在于:所述检测光源(61)通过水平延伸臂(611)连接于基板(20),所述多个竖直立柱(53)沿远离水平延伸臂(611)的位置设置。
7.根据权利要求1所述的荧光膜检测设备,其特征在于:所述料盒安装部(30)包括,
底板(32),连接于第一竖直滑轨(31);
第一挡部(33)、第二挡部(34)和第三挡部(35),均设置于底板(32)上;
活动挡部(36),设置于底板(32);所述第一挡部(33)、第二挡部(34)、第三挡部(35)和活动挡部(36)分别止抵于放置在底板(32)上料盒(301)的四个侧面。
8.根据权利要求7所述的荧光膜检测设备,其特征在于:所述活动挡部(36)包括,
基部(361);
挡块(362),旋转连接于基部(361)第一位置(3611);
旋转控制部(363),旋转连接于基部(361)第二位置(3612);
第一连接部(364)旋转连接于挡块(362)和旋转控制部(363);所述旋转控制部(363)绕基部(361)旋转通过第一连接部(364)带动挡块(362)旋转。
9.根据权利要求8所述的荧光膜检测设备,其特征在于:所述第一连接部(364)设置有第一限位部(3641),所述第一限位部(3641)沿第一方向a止抵于挡块(362)时,所述挡块(362)止抵于料盒(301)。
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