[实用新型]一种荧光膜检测设备有效

专利信息
申请号: 201921570096.X 申请日: 2019-09-20
公开(公告)号: CN210894133U 公开(公告)日: 2020-06-30
发明(设计)人: 刘振辉;庞华贵;林港睿;李方;蔺龙 申请(专利权)人: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
主分类号: G01N21/84 分类号: G01N21/84
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 荧光 检测 设备
【权利要求书】:

1.一种荧光膜检测设备,其特征在于:所述荧光膜检测设备(100)设置有,

基板(20);

料盒安装部(30),通过第一竖直滑轨(31)连接于基板(20),所述料盒安装部(30)能够沿所述第一竖直滑轨(31)沿竖直方向运动;所述料盒安装部(30)用于放置并固定料盒(301);

取料部(40),通过第二竖直导轨(41)连接于第一水平导轨(42),所述第一水平导轨(42)固定于支撑部(43);

载料部(50),用于放置待测试的荧光膜;所述取料部(40)能够将荧光膜沿第一水平导轨(42)传送到载料部(50);

所述取料部(40)从料盒(301)取荧光膜水平高度等于载料部(50)水平高度;所述取料部(40)沿第二竖直导轨(41)运动的距离小于料盒(301)中相邻两张荧光膜之间的距离。

2.根据权利要求1所述的荧光膜检测设备,其特征在于:所述荧光膜检测设备(100)还包括,

检测光源(61),连接于基板(20);

积分球(62),连接于基板(20)且收光口(621)位于检测光源(61)正上方。

3.根据权利要求2所述的荧光膜检测设备,其特征在于:所述检测光源(61)能够发出蓝色光。

4.根据权利要求2所述的荧光膜检测设备,其特征在于:载料部(50)包括透明放料部(51)和运动连接部(52);所述运动连接部(52)通过XY导轨连接于基板(20);所述透明放料部(51)用于放置荧光膜,所述透明放料部(51)通过多个竖直立柱(53)连接于运动连接部(52)。

5.根据权利要求4所述的荧光膜检测设备,其特征在于:所述载料部(50)能够沿XY导轨运动使透明放料部(51)位于检测光源(61)和积分球(62)之间。

6.根据权利要求5所述的荧光膜检测设备,其特征在于:所述检测光源(61)通过水平延伸臂(611)连接于基板(20),所述多个竖直立柱(53)沿远离水平延伸臂(611)的位置设置。

7.根据权利要求1所述的荧光膜检测设备,其特征在于:所述料盒安装部(30)包括,

底板(32),连接于第一竖直滑轨(31);

第一挡部(33)、第二挡部(34)和第三挡部(35),均设置于底板(32)上;

活动挡部(36),设置于底板(32);所述第一挡部(33)、第二挡部(34)、第三挡部(35)和活动挡部(36)分别止抵于放置在底板(32)上料盒(301)的四个侧面。

8.根据权利要求7所述的荧光膜检测设备,其特征在于:所述活动挡部(36)包括,

基部(361);

挡块(362),旋转连接于基部(361)第一位置(3611);

旋转控制部(363),旋转连接于基部(361)第二位置(3612);

第一连接部(364)旋转连接于挡块(362)和旋转控制部(363);所述旋转控制部(363)绕基部(361)旋转通过第一连接部(364)带动挡块(362)旋转。

9.根据权利要求8所述的荧光膜检测设备,其特征在于:所述第一连接部(364)设置有第一限位部(3641),所述第一限位部(3641)沿第一方向a止抵于挡块(362)时,所述挡块(362)止抵于料盒(301)。

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