[实用新型]一种光刻机的晶圆平边预定位装置

权利要求书

1.一种光刻机的晶圆平边预定位装置，其特征在于，包括用于承载晶圆的工作平台,所述工作平台上设有第一固定定位轮、至少两个的第二固定定位轮、所述第二固定定位轮用于定位晶圆的平边，所述第一固定定位轮用于定位晶圆的弧形边；

所述工作平台底部设有驱动机构、摆杆机构，所述摆杆机构上连接有定位轮动作轮，所述驱动机构用于驱动摆杆机构摆动使定位轮动作轮与定位后晶圆的弧形边接触或分离。

2.根据权利要求1所述的光刻机的晶圆平边预定位装置，其特征在于，所述摆杆机构包括设在工作平台下方的水平安装板，所述水平安装板通过连接板与工作平台底部连接，所述工作平台、水平安装板间设有L型摆杆，所述L型摆杆的直角处固定贯穿连接有第一转轴，所述第一转轴两端分别与水平安装板、工作平台可转动连接，所述第一转轴上还套设有扭转弹簧，所述扭转弹簧的一端与L型摆杆连接，所述扭转弹簧的另一端与水平安装板连接；

所述驱动机构包括安装在水平安装板底部的电机，所述电机的输出轴连接有第一锥形齿轮，所述水平安装板贯穿有与水平安装板可转动连接的第二转轴，所述第二转轴的底端固定连接有与第一锥形齿轮相配合的第二锥形齿轮，所述第二转轴顶端连接有圆缺型转盘，所述圆缺型转盘的弧形边在电机的传动下与L型摆杆的一边接触或分离，所述L型摆杆的另一边的自由端与定位轮动作轮连接。

3.根据权利要求2所述的光刻机的晶圆平边预定位装置，其特征在于，还包括控制器、安装在工作平台上并与定位后的晶圆的平边相邻的若干个光纤传感器，所述光纤传感器与控制器电连接，所述控制器还与电机电连接。

4.根据权利要求2所述的光刻机的晶圆平边预定位装置，其特征在于，两个所述第二固定定位轮与定位后的晶圆的平边接触；所述第一固定定位轮与定位后的晶圆的弧形边接触。

5.根据权利要求4所述的光刻机的晶圆平边预定位装置，其特征在于，所述第一固定定位轮包括与工作平台固定连接的第一固定轴，所述第一固定轴上可转动地连接有第一转动轮，所述第一转动轮与定位后的晶圆的弧形边接触；所述第二固定定位轮包括与工作平台固定连接的第二固定轴，所述第二固定轴上可转动地连接有第二转动轮，所述第二转动轮与定位后的晶圆的平边接触；所述定位轮动作轮包括与L型摆杆固定连接的第三固定轴，所述第三固定轴上可转动连接有第三转动轮，所述第三转动轮在L型摆杆的摆动下与定位后的晶圆的弧形边接触或分离。

6.根据权利要求3所述的光刻机的晶圆平边预定位装置，其特征在于，所述控制器为PLC控制器。

7.根据权利要求2所述的光刻机的晶圆平边预定位装置，其特征在于，所述水平安装板底部固定连接有一竖直安装板，所述竖直安装板与电机固定连接，所述电机的输出轴贯穿竖直安装板与第一锥形齿轮连接。

8.根据权利要求3所述的光刻机的晶圆平边预定位装置，其特征在于，所述光纤传感器设有三个，其中一个光纤传感器的位置与定位后的晶圆的平边的中部位置相对应，另外两个光纤传感器的位置与定位后的晶圆的平边的两端位置相对应。

9.根据权利要求3或8所述的光刻机的晶圆平边预定位装置，其特征在于，所述光纤传感器为反射式光纤传感器。