[实用新型]一种光刻机的晶圆平边预定位装置

说明书

本实用新型公开了一种光刻机的晶圆平边预定位装置，包括用于承载晶圆的工作平台,所述工作平台上设有第一固定定位轮、至少两个的第二固定定位轮、所述第二固定定位轮用于定位晶圆的平边，所述第一固定定位轮用于定位晶圆的弧形边；所述工作平台底部设有驱动机构、摆杆机构，所述摆杆机构上连接有定位轮动作轮，所述驱动机构用于驱动摆杆机构摆动使定位轮动作轮与定位后晶圆的弧形边接触或分离。本实用新型能够对具有平边的晶圆预定位，且由于本实用新型设有光纤传感器使得定位更为准确。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种光刻机的晶圆平边预定位装置。

背景技术

半导体器件图形曝光机(光刻机)是半导体器件生产过程中的关键工序设备，用于产生半导体器件各种图形。生产半导体器件的衬底依本身特征不同，各有不同的晶向排列，而器件的图形设计与晶向的关系主要取决于电气特性及后工序的划片需求。其晶圆的标准设计以 Notch和Flat两种，Flat是在晶圆上切割一个平角。由于晶圆在各设备间进行传送来完成各种工艺，过程中需要对晶圆片姿态的调整，这要由晶圆定位装置来完成，其最后的执行结果直接影响整条生产线的精度和生产效率。因此，有必要提出一种对具有平边的晶圆预定位的装置。

发明内容

为了解决上述背景技术中所提到的问题，本实用新型提供一种光刻机的晶圆平边预定位装置，能够对具有平边的晶圆进行定位。

一种光刻机的晶圆平边预定位装置，包括用于承载晶圆的工作平台,所述工作平台上设有第一固定定位轮、至少两个的第二固定定位轮、所述第二固定定位轮用于定位晶圆的平边，所述第一固定定位轮用于定位晶圆的弧形边；

所述工作平台底部设有驱动机构、摆杆机构，所述摆杆机构上连接有定位轮动作轮，所述驱动机构用于驱动摆杆机构摆动使定位轮动作轮与定位后晶圆的弧形边接触或分离。

进一步地，所述摆杆机构包括设在工作平台下方的水平安装板，所述水平安装板通过连接板与工作平台底部连接，所述工作平台、水平安装板间设有L型摆杆，所述L型摆杆的直角处固定贯穿连接有第一转轴，所述第一转轴两端分别与水平安装板、工作平台可转动连接，所述第一转轴上还套设有扭转弹簧，所述扭转弹簧的一端与L型摆杆连接，所述扭转弹簧的另一端与水平安装板连接；

所述驱动机构包括安装在水平安装板底部的电机，所述电机的输出轴连接有第一锥形齿轮，所述水平安装板贯穿有与水平安装板可转动连接的第二转轴，所述第二转轴的底端固定连接有与第一锥形齿轮相配合的第二锥形齿轮，所述第二转轴顶端连接有圆缺型转盘，所述圆缺型转盘的弧形边在电机的传动下与L型摆杆的一边接触或分离，所述L形摆杆的另一边的自由端与定位轮动作轮连接。

进一步地，还包括控制器、安装在工作平台上并与定位后的晶圆的平边相邻的若干个光纤传感器，所述光纤传感器与控制器电连接，所述控制器还与电机电连接。

进一步地，两个所述第二固定定位轮与定位后的晶圆的平边接触；所述第一固定定位轮与定位后的晶圆的弧形边接触。

进一步地，所述第一固定定位轮包括与工作平台固定连接的第一固定轴，所述第一固定轴上可转动地连接有第一转动轮，所述第一转动轮与定位后的晶圆的弧形边接触；所述第二固定定位轮包括与工作平台固定连接的第二固定轴，所述第二固定轴上可转动地连接有第二转动轮，所述第二转动轮与定位后的晶圆的平边接触；所述定位轮动作轮包括与L形摆杆固定连接的第三固定轴，所述第三固定轴上可转动连接有第三转动轮，所述第三转动轮在L型摆杆的摆动下与定位后的晶圆的弧形边接触或分离。

进一步地，所述控制器为PLC控制器。

进一步地，所述水平安装板底部固定连接有一竖直安装板，所述竖直安装板与电机固定连接，所述电机的输出轴贯穿竖直安装板与第一锥形齿轮连接。