[实用新型]一种链式刻蚀机的下料装置及链式刻蚀机

权利要求书

1.一种链式刻蚀机的下料装置，其特征在于，包括：

第一运输机构(1)，所述第一运输机构(1)被配置为沿第一方向输送硅片；

第二运输机构(2)，所述第二运输机构(2)设在所述第一运输机构(1)的一端，所述第二运输机构(2)被配置为接收来自所述第一运输机构(1)的所述硅片并且将所述硅片沿第二方向输送，所述第一方向和所述第二方向之间具有夹角；

缓存盒(3)，所述缓存盒(3)上设有沿所述第一方向延伸的缓存槽(321)，所述缓存槽(321)为多个，且多个所述缓存槽(321)沿竖直方向间隔分布，所述缓存盒(3)被配置为可相对所述第一运输机构(1)沿竖直方向运动，以使所述第一运输机构(1)运输的所述硅片插入多个所述缓存槽(321)内。

2.根据权利要求1所述的链式刻蚀机的下料装置，其特征在于，所述链式刻蚀机的下料装置还包括支架(4)，所述第一运输机构(1)为多个，多个所述第一运输机构(1)沿与所述第一方向垂直的方向依次设置在所述支架(4)上，所述第二运输机构(2)为多个，多个所述第二运输机构(2)与多个所述第一运输机构(1)一一对应设置。

3.根据权利要求2所述的链式刻蚀机的下料装置，其特征在于，所述缓存盒(3)包括：

横向板(31)，所述横向板(31)位于所述第一运输机构(1)的上方，且所述横向板(31)沿与所述第一方向垂直的方向延伸设置；

纵向板(32)，所述纵向板(32)为多个，多个所述纵向板(32)沿与所述第一方向垂直的方向间隔设置于所述横向板(31)的底部，相邻两个所述纵向板(32)之间设有一个所述第一运输机构(1)，每个所述纵向板(32)的侧壁上均设有多个所述缓存槽(321)，且相邻两个所述纵向板(32)上的所述缓存槽(321)一一对应设置。

4.根据权利要求3所述的链式刻蚀机的下料装置，其特征在于，所述链式刻蚀机的下料装置还包括驱动机构(5)，所述驱动机构(5)包括：

丝杠(51)，所述丝杠(51)设在所述支架(4)上，且所述丝杠(51)沿竖直方向延伸设置；

螺母(52)，所述螺母(52)配合在所述丝杠(51)上，且所述螺母(52)与所述纵向板(32)相连；

驱动件(53)，所述驱动件(53)与所述丝杠(51)相连，所述驱动件(53)被配置为驱动所述丝杠(51)旋转以使所述螺母(52)沿竖直方向运动。

5.根据权利要求2所述的链式刻蚀机的下料装置，其特征在于，所述第一运输机构(1)包括多个沿所述第一方向分布的第一运输单元(11)，每个所述第一运输单元(11)均包括：

第一固定板(111)，所述第一固定板(111)为两个，两个所述第一固定板(111)沿与所述第一方向垂直的方向间隔分布；

第一传动轮组(112)，所述第一传动轮组(112)为两个，每个所述第一传动轮组(112)可转动地设在一个所述第一固定板(111)上；

第一驱动源(113)，所述第一驱动源(113)与所述第一传动轮组(112)中的一个传动轮相连；

第一传送带(114)，所述第一传送带(114)为两个，每个所述第一传送带(114)沿第一方向延伸，每个所述第一传送带(114)与一个所述第一传动轮组(112)配合；其中：

所述第一驱动源(113)驱动所述第一传动轮组(112)转动时，所述第一传送带(114)可沿所述第一方向运输所述硅片。

6.根据权利要求5所述的链式刻蚀机的下料装置，其特征在于，所述缓存盒(3)设置相邻的两个所述第一运输单元(11)的所述第一固定板(111)之间，或者，所述第一固定板(111)上设有沿竖直方向贯穿所述第一固定板(111)的贯穿槽，所述缓存盒(3)配合在所述贯穿槽内。