[实用新型]一种链式刻蚀机的下料装置及链式刻蚀机

说明书

本实用新型公开了一种链式刻蚀机的下料装置及链式刻蚀机，该下料装置包括第一运输机构、第二运输机构及缓存盒，第一运输机构被配置为沿第一方向输送硅片；第二运输机构，第二运输机构设在第一运输机构的一端，第二运输机构被配置为接收来自第一运输机构的硅片并且将硅片沿第二方向输送，第一方向和第二方向具有夹角，缓存盒上设有沿第一方向延伸设置的缓存槽，缓存槽为多个，且多个缓存槽竖直方向间隔分布，缓存盒配置为可相对第一运输机构沿竖直方向运动，以使第一运输机构运输的硅片插入多个缓存槽内。该下料装置能够给予工作人员较长时间进行异常处理，从而降低堵片导致返工片和碎片的几率。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备技术领域，尤其涉及一种链式刻蚀机的下料装置及链式刻蚀机。

背景技术

链式刻蚀机的下料装置一般为连续性出料，在下料过程中可能出现堵片的现象，需要工作人员及时处理，如果工作人员处理不及时则会导致大批量的堵片、返工片以及碎片，降低了链式刻蚀机的生产效率及生产良品率。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于提出一种链式刻蚀机的下料装置，该下料装置能够给予工作人员较长时间进行异常处理，从而降低堵片导致返工片和碎片的几率。

本实用新型的另一个目的在于提出一种链式刻蚀机，该链式刻蚀机的生产效率较高，硅片良品率较高。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

一种链式刻蚀机的下料装置，包括：第一运输机构，所述第一运输机构被配置为沿第一方向输送硅片；第二运输机构，所述第二运输机构设在所述第一运输机构的一端，所述第二运输机构被配置为接收来自所述第一运输机构的所述硅片并且将所述硅片沿第二方向输送，所述第一方向和所述第二方向具有夹角；缓存盒，所述缓存盒上设有沿所述第一方向延伸设置的缓存槽，所述缓存槽为多个，且多个所述缓存槽竖直方向间隔分布，所述缓存盒被配置为可相对所述第一运输机构沿竖直方向运动，以使所述第一运输机构运输的所述硅片插入多个所述缓存槽内。

在一些实施例中，所述链式刻蚀机的下料装置还包括支架，所述第一运输机构为多个，多个所述第一运输机构沿与所述第一方向垂直的方向依次设置在所述支架上，所述第二运输机构为多个，多个所述第二运输机构与多个所述第一运输机构一一对应设置。

在一些可选的实施例中，所述缓存盒包括：横向板，所述横向板位于所述第一运输机构的上方，且所述横向板沿与所述第一方向垂直的方向延伸设置与所述横向板的底部；纵向板，所述纵向板为多个，多个所述纵向板沿与所述第一方向垂直的方向间隔设置，相邻两个所述纵向板之间设有一个所述第一运输机构，每个所述纵向板的侧壁上均设有多个所述缓存槽，且相邻两个所述纵向板上的所述缓存槽一一对应设置。

在一些可选的实施例中，所述链式刻蚀机的下料装置还包括驱动机构，所述驱动机构包括：丝杠，所述丝杠设在所述支架上，且所述丝杠沿竖直方向延伸设置；螺母，所述螺母配合在所述丝杠上，且所述螺母与所述纵向板相连；驱动件，所述驱动件与所述丝杠相连，所述驱动件被配置为驱动所述丝杠旋转以使所述螺母沿竖直方向运动。

在一些实施例中，所述第一运输机构包括多个沿所述第一方向分布的第一运输单元，每个所述第一运输单元均包括：第一固定板，所述第一固定板为两个，两个所述第一固定板沿与所述第一方向垂直的方向间隔分布；第一传动轮组，所述第一传动轮组为两个，每个所述第一传动轮组可转动地设在一个所述第一固定板上；第一驱动源，所述第一驱动源与所述第一传动轮组中的一个传动轮相连；第一传送带，所述第一传送带为两个，每个所述第一传送带沿第一方向延伸，每个所述第一传送带与一个所述第一传动轮组配合；其中：所述第一驱动源驱动所述第一传动轮组转动时，所述第一传送带可沿所述第一方向运输所述硅片。

在一些可选的实施例中，所述缓存盒设置相邻的两个所述第一运输单元的所述第一固定板之间，或者，所述第一固定板上设有沿竖直方向贯穿所述第一固定板的贯穿槽，所述缓存盒配合在所述贯穿槽内。