[实用新型]一种新型的硅片承载器

权利要求书

1.一种新型的硅片承载器，其特征在于：它包含上金属挡板、下金属挡板、调节机构、硅片层架、硅片定位杆和缓冲杆；所述的上金属挡板和下金属挡板上分别设置有调节机构，硅片层架的两端分别通过调节机构固定有上金属挡板和下金属挡板，上金属挡板与下金属挡板的中部连接有缓冲杆，缓冲杆的两侧分别设置有硅片定位杆，硅片定位杆的两端分别通过螺丝与上金属挡板和下金属挡板固定；所述的调节机构包含模块安装槽、模块、螺丝孔和螺丝；所述的上金属挡板和下金属挡板上分别设置有模块安装槽，模块安装槽内配合安装有模块，模块和模块安装槽内分别设置有螺丝孔，螺丝穿过螺丝孔与硅片层架固定；所述的硅片定位杆上中部设置有与硅片层架层距一致的隔条，隔条的两侧分别设置有缓冲塑料条；所述的硅片层架上固定有数根螺纹杆。

2.根据权利要求1所述的一种新型的硅片承载器，其特征在于：所述的模块安装槽和模块为腰形形状。

3.根据权利要求1所述的一种新型的硅片承载器，其特征在于：所述的缓冲杆位于两根硅片定位杆上的隔条所在平面的前侧，缓冲塑料条凸出于隔条，缓冲塑料条与缓冲杆在同一平面内。

4.根据权利要求1所述的一种新型的硅片承载器，其特征在于：所述的缓冲杆外部套设有弹性塑胶套。