[实用新型]紫外光固化装置

权利要求书

1.一种紫外光固化装置，其特征在于，所述紫外光固化装置包括：发光单元、光强检测单元以及与所述发光单元和所述光强检测单元分别连接的功率调节单元；其中，

所述发光单元提供UV光线；所述光强检测单元检测所述UV光线的光强；所述功率调节单元根据所述光强检测单元检测到的所述UV光线的光强调节所述发光单元的功率，从而调节所述发光单元发出的所述UV光线的光强。

2.如权利要求1所述的紫外光固化装置，其特征在于，所述光强检测单元包括光照传感器和数字控制器，所述光照传感器与所述数字控制器连接，所述光照传感器检测所述UV光线的光强，并将所述光强转换成电信号传输到所述数字控制器以计算所述光强的值。

3.如权利要求2所述的紫外光固化装置，其特征在于，所述光照传感器设置于所述发光单元的表面。

4.如权利要求1所述的紫外光固化装置，其特征在于，所述发光单元包括至少两个UV灯。

5.如权利要求4所述的紫外光固化装置，其特征在于，所述发光单元还包括第一反射器和第二反射器，所述第一反射器和所述第二反射器设置于所述UV灯侧，所述第一反射器和第二反射器能够对所述UV光线进行反射以形成UV反射光线。

6.如权利要求5所述的紫外光固化装置，其特征在于，所述第一反射器和所述第二反射器分别设置在所述UV灯的两相对侧，所述第一反射器较所述第二反射器靠近所述UV灯。

7.如权利要求5所述的紫外光固化装置，其特征在于，所述紫外光固化装置还包括一石英窗，所述石英窗位于所述UV反射光线的路径上，所述UV反射光线能够穿过所述石英窗。

8.如权利要求7所述的紫外光固化装置，其特征在于，所述紫外光固化装置还包括一腔室，所述腔室具有一开口，所述开口朝向所述石英窗。

9.如权利要求8所述的紫外光固化装置，其特征在于，所述腔室内设有支撑架，所述支撑架能够承载晶圆。

10.如权利要求8-9中任一项所述的紫外光固化装置，其特征在于，所述石英窗位于所述腔室的顶部。

11.如权利要求8-9中任一项所述的紫外光固化装置，其特征在于，所述发光单元提供的所述UV光线能够穿过所述石英窗进入所述腔室。