[实用新型]一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机

权利要求书

1.一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，包括吸盘固定座、驱动电机和陶瓷吸盘，吸盘固定座用于连接抽气设备，所述驱动电机的输出轴连接于所述吸盘固定座，所述驱动电机用于驱动所述吸盘固定座旋转，所述吸盘固定座上设有凹槽，所述陶瓷吸盘设置在所述凹槽内，其特征在于，还包括至少三个调节件，所述调节件位于所述陶瓷吸盘和所述吸盘固定座之间，所述调节件位于所述凹槽内，所述调节件用于调节所述陶瓷吸盘的平面度。

2.如权利要求1所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述调节件的一端位于所述陶瓷吸盘内且螺纹连接于所述陶瓷吸盘，所述调节件的另一端抵触在所述凹槽的槽底。

3.如权利要求2所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述调节件的背离于所述陶瓷吸盘的一端设为球头端。

4.如权利要求3所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述调节件和所述陶瓷吸盘之间连接有密封层。

5.如权利要求3所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述调节件沿着一圆周等距设置，所述圆周以所述陶瓷吸盘的中心为圆心。

6.如权利要求1所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述凹槽设为圆形槽，所述陶瓷吸盘为圆形吸盘，所述圆形吸盘的轴向与所述圆形槽的轴向共线。

7.如权利要求1所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述陶瓷吸盘和所述凹槽之间设有定位组件，所述定位组件限制所述陶瓷吸盘相对于所述吸盘固定座运动。

8.如权利要求7所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述定位组件为定位销，所述定位销固定在所述陶瓷吸盘面向所述凹槽的槽底的表面，所述凹槽的槽底设有用于插设所述定位销的定位槽。

9.如权利要求1所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述吸盘固定座的表面设有防锈层。

10.如权利要求1所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，还包括旋转工作台和绝缘块，所述旋转工作台连接在所述驱动电机的输出轴上，所述绝缘块固定在所述旋转工作台上，所述吸盘固定座固定在所述绝缘块上。