[实用新型]基板搬送装置

权利要求书

1.一种基板搬送装置，其中，所述基板搬送装置包括：

吸附单元，其构成为能够吸附从母基板分断而安置在装载台上的单位基板；

驱动单元，与所述吸附单元连接，并能够使所述吸附单元向所述单位基板移动；

间距测量单元，能够测量安置于所述装载台的所述单位基板与所述吸附单元之间的间距；以及

控制单元，以所述间距测量单元所测量的所述单位基板和所述吸附单元之间的间距为基础，控制所述驱动单元；

所述控制单元包括:

目标高度计算模块，以在所述装载台的多个地点所测量的所述单位基板和所述吸附单元之间的间距为基础，计算在所述装载台的多个地点，所述吸附单元相对于所述单位基板所处的多个目标高度；

目标高度存储模块，存储通过所述目标高度计算模块算出的所述装载台的多个地点上的多个目标高度，作为地图数据；以及

控制模块，以存储在所述目标高度存储模块中的所述装载台的多个地点上的多个目标高度为基础，控制所述驱动单元，来调整位于某一地点的所述吸附单元相对于所述单位基板的高度。

2.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其中，

所述间距测量单元包括：

主体，固定在所述吸附单元；

接触部件，以能够向与所述单位基板相邻或隔开的方向移动的方式设置于所述主体，与所述单位基板对向的所述接触部件的前端与所述单位基板接触；

移动模块，使所述接触部件向与所述单位基板相邻或隔开的方向移动；以及

位移测量模块，设置在所述主体与所述接触部件之间，测量所述接触部件相对于所述主体的位移。

3.根据权利要求2所述的基板搬送装置，其中，

所述接触部件的前端设置有由通过外力弹性变形的材料构成的冲击吸收部件。

4.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其中，

所述间距测量单元是与所述单位基板对向布置的非接触式感应器。

5.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其中，

所述间距测量单元结合于所述吸附单元。