[实用新型]晶圆真空载具以及晶圆真空吸附系统

权利要求书

1.一种晶圆真空载具，其特征在于，包括：

真空吸盘主体，所述真空吸盘主体上设有用于吸附晶圆的晶圆承载端面；

吸附体，所述吸附体开设有抽气通孔，所述吸附体设于所述真空吸盘主体内，所述吸附体用于吸附所述晶圆的翘曲部位，带动所述翘曲部位朝翘曲的反方向移动。

2.根据权利要求1所述的晶圆真空载具，其特征在于，所述真空吸盘主体上设有安装孔，所述吸附体可活动地设于所述安装孔内，所述吸附体用于向所述晶圆移动并吸附所述翘曲部位，在吸附所述翘曲部位时朝翘曲的反方向移动。

3.根据权利要求2所述的晶圆真空载具，其特征在于，所述吸附体上设有限定件；所述限定件用于在所述吸附体朝翘曲的反方向移动过程中，达到所述吸附体的吸附端与所述晶圆承载端面平齐或基本平齐时，与所述安装孔抵接。

4.根据权利要求2所述的晶圆真空载具，其特征在于，所述吸附体的外侧壁与所述安装孔的内壁密封接触配合。

5.根据权利要求1所述的晶圆真空载具，其特征在于，所述吸附体为可伸缩结构，所述吸附体用于向所述晶圆伸长并吸附所述翘曲部位，在吸附所述翘曲部位时朝翘曲的反方向缩短。

6.根据权利要求5所述的晶圆真空载具，其特征在于，所述吸附体设有锁定件；所述锁定件用于在所述吸附体朝翘曲的反方向缩短过程中，达到所述吸附体的吸附端与所述晶圆承载端面平齐或基本平齐时，锁定所述吸附体。

7.根据权利要求1至6中任意一项所述的晶圆真空载具，其特征在于，所述吸附体的数量为多个，各所述吸附体的吸附端朝向所述晶圆设置，且各所述吸附体的吸附端沿周向等间隔设置。

8.根据权利要求1至6中任意一项所述的晶圆真空载具，其特征在于，所述吸附体包括主体和弹性头部；所述主体的一端机械连接所述真空吸盘主体，另一端机械连接所述弹性头部。

9.根据权利要求1至6中任意一项所述的晶圆真空载具，其特征在于，所述真空吸盘主体包括：

本体，所述本体的其中一端面为所述晶圆承载端面，所述晶圆承载端面设有槽，所述槽的底部开设有真空孔；

中空管，所述中空管设于真空孔内；

若干支撑柱；各所述支撑柱的一端机械连接所述槽的底部，另一端与所述槽的晶圆承载端面平齐或基本平齐。

10.一种晶圆真空吸附系统，其特征在于，包括权利要求1至9中任意一项所述的晶圆真空载具；还包括形变测量设备、控制设备以及抽真空设备；

所述控制设备分别电连接所述形变测量设备、所述抽真空设备；所述抽真空设备机械连接所述晶圆真空载具的吸附体。