[实用新型]一种防磨损涂布机真空干燥单元装置有效
申请号: | 201921629863.X | 申请日: | 2019-09-27 |
公开(公告)号: | CN210965781U | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 徐飞;熊谟勇;张良;王伟杰;姚强;钱伟伟;张国曦 | 申请(专利权)人: | 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 |
主分类号: | B05D3/04 | 分类号: | B05D3/04;G03F7/38 |
代理公司: | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人: | 严海晨 |
地址: | 210033 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 磨损 涂布机 真空 干燥 单元 装置 | ||
1.一种防磨损涂布机真空干燥单元装置,其特征是其结构包括上盖板(1)、底板(2)、金属托盘(3)、螺栓(4)、顶升销(5)、O型圈(6)、玻璃基板(7)、真空泵阀门(8)、CDA控制阀门(9)、CDA系统(10)、真空泵(11)和塑料刮片(12);其中,上盖板(1)与底板(2)连接形成空腔,连接处设有O型圈(6)密封,金属托盘(3)设于底板(2)上端面,通过螺栓(4)固定,金属托盘(3)上端面设有多个顶升销(5)连接玻璃基板(7),真空泵(11)和CDA系统(10)连接金属托盘(3)下端面,真空泵(11)连接管上设有真空泵阀门(8),CDA系统(10)连接管上设有CDA控制阀门(9),所述塑料刮片(12)安装于金属托盘(3)与底板(2)中间接触位置。
2.根据权利要求1所述的一种防磨损涂布机真空干燥单元装置,其特征是所述塑料刮片(12)厚50um。
3.根据权利要求1所述的一种防磨损涂布机真空干燥单元装置,其特征是所述塑料刮片(12)材质为聚酰亚胺类。
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