[实用新型]一种防磨损涂布机真空干燥单元装置

说明书

本实用新型涉及一种防磨损涂布机真空干燥单元装置，其结构包括上盖板、底板、金属托盘、顶升销、O型圈、玻璃基板、真空泵阀门、CDA控制阀门、CDA系统、真空泵和塑料刮片；上盖板与底板连接，连接处设有O型圈密封，金属托盘设于底板上端面，金属托盘上端面设有多个顶升销连接玻璃基板，真空泵和CDA系统连接金属托盘下端面，连接管上分别设有真空泵阀门和CDA控制阀门，所述塑料刮片安装于金属托盘与底板中间接触位置。优点：1）有效减少金属托盘与底板的接触，减少直接摩擦带来的金属微粒，提高工作环境洁净度、提高产品品质。2）塑料刮片价格便宜，可以定期进行更换，结构简单安装方便，减少了机台内部的磨损导致的机械异常，同时明显降低设备维护检修的成本。

技术领域

本实用新型是一种防磨损涂布机真空干燥单元装置，属于光刻技术领域。

背景技术

液晶面板显示行业与半导体行业，这2大行业都是在洁净度很高的环境下工作，所以微小颗粒变成了技术人员共同需要克服的难题。微粒种类很多，有机类的、无机类的、金属类的等等，因其体积较小（最小到几个um），不易被发现，改善难度痕大，故经常需要借助高精度的扫描显微镜、元素分析仪、红外光谱仪等高尖端仪器来判定particle是具体哪类物质来针对性的改善；现有的各类机台可能都会出现磨损的问题从而导致持续产尘或者设备异常，因此，改善机构接触式磨损变得非常重要。

狭缝涂布机（以下简称silt涂布机）中有一道装置叫真空干燥单元，是指玻璃基板在真空状态下进行光刻胶固化作业，由高密度真空抽取真空干燥单元腔室内的空气，使之在较短时间内到达所设真空压力值。因为真空干燥单元整体空间较小，液晶面板较薄（0.5mm），所以在抽气、破真空时，容易将真空干燥单元腔室内的微粒扬起附着在玻璃基板表面，使得异物较多影响产品品质。现有机台因设计的需要，采用紧固螺栓将承载玻璃基板的金属托盘与底板锁死，但是真空状态下的来回抽气与排气，导致金属托盘与底板产生摩擦，致使相连的部位磨损产生金属碎屑，从而严总影响产品品质。

实用新型内容

本实用新型提出的是一种防磨损涂布机真空干燥单元装置，其目的在于针对现有技术中真空干燥单元装置里的金属托盘与底板之间的摩擦，容易致使相连的部位磨损产生金属碎屑，进而影响产品品质的缺陷，提出了 一种在磨损部位加装塑料刮片、有效减少直接摩擦带来的微粒的防磨损涂布机真空干燥单元装置。

本实用新型的技术解决方案：

一种防磨损涂布机真空干燥单元（Vacuum Dry Unit ，简称VCD)装置，其结构包括上盖板1、底板2、金属托盘3、螺栓4、顶升销5、O型圈6、玻璃基板7、真空泵阀门8、CDA控制阀门9、CDA系统10、真空泵11和塑料刮片12；其中，上盖板1与底板2连接形成空腔，连接处设有O型圈6密封，金属托盘3设于底板2上端面，通过螺栓4固定，金属托盘3上端面设有多个顶升销5连接玻璃基板7，真空泵11和CDA系统10连接金属托盘3下端面，真空泵11连接管上设有真空泵阀门8，CDA系统10连接管上设有CDA控制阀门9，所述塑料刮片12安装于金属托盘3与底板2中间接触位置。

所述塑料刮片12厚50um。

所述塑料刮片12韧性极强（聚酰亚胺类材质）。

本实用新型的有益效果：

1）有效减少金属托盘与底板的接触，从而减少直接摩擦带来的金属微粒，提高工作环境洁净度、提高产品品质。

2）塑料刮片价格便宜，可以定期进行更换，结构简单安装方便，减少了机台内部的磨损导致的机械异常，同时明显降低设备维护检修的成本。

附图说明

附图1是一种防磨损涂布机真空干燥单元装置结构示意图。