[实用新型]一种高纯度四氟化硅分离提纯设备

权利要求书

1.一种高纯度四氟化硅分离提纯设备，包括干燥除尘设备（1），其特征在于：所述干燥除尘设备（1）呈L字形的管道结构，干燥除尘设备（1）的左下端设置有贯穿内外的漏孔（5），漏孔（5）的下端匹配安装有集尘盒（2），所述集尘盒（2）的右端上表面一体设置有下方支撑滤板（11），下方支撑滤板（11）的左侧面活动贴合有下方棉垫（10），所述下方棉垫（10）设置在干燥除尘设备（1）下端的管道中，所述集尘盒（2）的内部底面中间位置固定焊接有支撑杆（6），所述支撑杆（6）的上端固定焊接有上端支撑滤板（8），所述上端支撑滤板（8）的上下表面均固定设置有上方棉垫（9），上方棉垫（9）设置在干燥除尘设备（1）上端的管道中。

2.根据权利要求1所述的一种高纯度四氟化硅分离提纯设备，其特征在于：所述下方棉垫（10）的外圈处套设有磁性吸框（12），所述磁性吸框（12）呈圆环结构，磁性吸框（12）的内圈处一体设置有卡圈（15），所述卡圈（15）匹配卡合在下方棉垫（10）外圈的卡槽（14）上，所述磁性吸框（12）的右侧面一体设置有卡柱（17），所述卡柱（17）卡合在下方支撑滤板（11）左侧表面相应的卡孔（16）中。

3.根据权利要求2所述的一种高纯度四氟化硅分离提纯设备，其特征在于：所述磁性吸框（12）的上表面固定设置有密封垫（13），所述密封垫（13）的上表面活动贴合在干燥除尘设备（1）下方管道的内壁中。

4.根据权利要求1所述的一种高纯度四氟化硅分离提纯设备，其特征在于：所述集尘盒（2）呈无上表面的矩形箱体结构，集尘盒（2）的上表面一圈固定设置有磁性固定框（3），磁性固定框（3）吸附固定在干燥除尘设备（1）的下表面，所述磁性固定框（3）的上表面固定设置有橡胶密封圈（4），橡胶密封圈（4）密封贴合在漏孔（5）的下端开口一圈。

5.根据权利要求1所述的一种高纯度四氟化硅分离提纯设备，其特征在于：所述上端支撑滤板（8）的外圈处固定设置有橡胶密封环（7），所述橡胶密封环（7）活动贴合在干燥除尘设备（1）的管道内壁中。