[实用新型]一种高纯度四氟化硅分离提纯设备

说明书

本实用新型公开了涉及四氟化硅分离提纯设备技术领域，具体为一种高纯度四氟化硅分离提纯设备，包括干燥除尘设备，干燥除尘设备呈L字形的管道结构，干燥除尘设备的左下端设置有贯穿内外的漏孔，漏孔的下端匹配安装有集尘盒，集尘盒的右端上表面一体设置有下方支撑滤板，下方支撑滤板的左侧面活动贴合有下方棉垫。本实用新型中设置有双重过滤杂质的棉垫，过滤杂质和去除湿气的效果较好，可提高四氟化硅的分离提纯纯度；本实用新型中集尘盒结构设计合理，集尘盒跟过滤除湿组件一体设置，方便拆装和清理，实用性强；本实用新型中集尘盒可快速进行拆装，方便使用，集尘盒可收集杂质和水，起到了提高四氟化硅的分离提纯纯度的作用。

技术领域

本实用新型涉及四氟化硅分离提纯设备技术领域，具体为一种高纯度四氟化硅分离提纯设备。

背景技术

将氟硅酸与70wt％浓度的硫酸干燥剂混合，氟硅酸与硫酸干燥剂的重量比为1:2，向氟硅酸与硫酸干燥剂的混合物中通入氟化氢，加热温度为70℃，常压下，氟硅酸中的二氧化硅与氟化氢反应生成四氟化硅气体和水，水生成后迅速被硫酸干燥剂吸收，得到提纯的氟硅酸和硫酸干燥剂的混合物以及气相物，气相物包括四氟化硅，气相物还包括氟化氢。

将气相物进入压缩机压缩至2.0MPa，压缩后的气体进入氟利昂冷却器冷却至-40℃，除去氟化氢，得到四氟化硅液，完成四氟化硅的分离和提纯，但此方法得到的四氟化硅液中往往包含其他杂质和水，其纯度较低。

为此，我们提出了一种高纯度四氟化硅分离提纯设备以良好的解决上述弊端。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高纯度四氟化硅分离提纯设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高纯度四氟化硅分离提纯设备，包括干燥除尘设备，所述干燥除尘设备呈L字形的管道结构，干燥除尘设备的左下端设置有贯穿内外的漏孔，漏孔的下端匹配安装有集尘盒，所述集尘盒的右端上表面一体设置有下方支撑滤板，下方支撑滤板的左侧面活动贴合有下方棉垫，所述下方棉垫设置在干燥除尘设备下端的管道中，所述集尘盒的内部底面中间位置固定焊接有支撑杆，所述支撑杆的上端固定焊接有上端支撑滤板，所述上端支撑滤板的上下表面均固定设置有上方棉垫，上方棉垫设置在干燥除尘设备上端的管道中。

优选的，所述下方棉垫的外圈处套设有磁性吸框，所述磁性吸框呈圆环结构，磁性吸框的内圈处一体设置有卡圈，所述卡圈匹配卡合在下方棉垫外圈的卡槽上，所述磁性吸框的右侧面一体设置有卡柱，所述卡柱卡合在下方支撑滤板左侧表面相应的卡孔中。

优选的，所述磁性吸框的上表面固定设置有密封垫，所述密封垫的上表面活动贴合在干燥除尘设备下方管道的内壁中。

优选的，所述集尘盒呈无上表面的矩形箱体结构，集尘盒的上表面一圈固定设置有磁性固定框，磁性固定框吸附固定在干燥除尘设备的下表面，所述磁性固定框的上表面固定设置有橡胶密封圈，橡胶密封圈密封贴合在漏孔的下端开口一圈。

优选的，所述上端支撑滤板的外圈处固定设置有橡胶密封环，所述橡胶密封环活动贴合在干燥除尘设备的管道内壁中。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中设置有双重过滤杂质的棉垫，过滤杂质和去除湿气的效果较好，可提高四氟化硅的分离提纯纯度；

2、本实用新型中集尘盒结构设计合理，集尘盒跟过滤除湿组件一体设置，方便拆装和清理，实用性强；

3、本实用新型中集尘盒可快速进行拆装，方便使用，集尘盒可收集杂质和水，起到了提高四氟化硅的分离提纯纯度的作用。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中A处结构放大示意图。