[实用新型]一种半导体机台晶圆片传动装置

权利要求书

1.一种半导体机台晶圆片传动装置，包括底座(1)、电机(2)和皮带轮(3)，其特征在于：所述底座(1)的左侧内部固定安装有电机(2)，且电机(2)的输出端固定安装有皮带轮(3)，所述皮带轮(3)的外壁套接有传送皮带(4)，所述皮带轮(3)的右端固定安装有连接杆(5)，所述底座(1)的顶端两侧皆固定安装有支撑杆(6)，且支撑杆(6)的内部开设有通槽(16)，所述通槽(16)的内部插设有插杆(8)，所述插杆(8)的左端固定安装有转块(7)，所述支撑杆(6)的顶端插设有固定杆(12)，且固定杆(12)的顶端固定安装有固定块(13)，所述固定杆(12)的外壁套接有弹簧(14)，所述插杆(8)的外壁开设有固定槽(15)，所述电机(2)的顶端固定安装有定位板(10)，且定位板(10)的左侧开设有插槽(9)，所述定位板(10)的右端固定安装有海绵垫(11)，所述定位板(10)的底端固定安装有滑块(17)，所述底座(1)的顶端开设有滑槽(18)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体机台晶圆片传动装置，其特征在于：所述皮带轮(3)设置有两组，所述连接杆(5)设置有六组，且六组所述连接杆(5)的两端皆与皮带轮(3)固定焊接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体机台晶圆片传动装置，其特征在于：所述插杆(8)的外壁设置有外螺纹，所述通槽(16)的内部设置有内螺纹，所述插杆(8)与通槽(16)螺纹式连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体机台晶圆片传动装置，其特征在于：所述固定杆(12)的外壁直径与固定槽(15)的内壁直径大小相等，所述固定杆(12)插设在固定槽(15)的内部，所述固定杆(12)与固定槽(15)组成嵌入式结构。

5.根据权利要求1所述的一种半导体机台晶圆片传动装置，其特征在于：所述弹簧(14)的一端与固定杆(12)固定焊接，所述弹簧(14)的另一端与支撑杆(6)固定焊接，所述弹簧(14)与固定块(13)组成弹性结构。

6.根据权利要求1所述的一种半导体机台晶圆片传动装置，其特征在于：所述滑块(17)的外壁直径与滑槽(18)的内壁直径大小相等，所述滑块(17)插设在滑槽(18)的内部，所述滑块(17)与滑槽(18)组成滑动式结构。