[实用新型]一种硅片切割机的浆液循环系统用中转缸有效
申请号: | 201921638117.7 | 申请日: | 2019-09-27 |
公开(公告)号: | CN211221490U | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 杨帆;樊欢欢;王海洋 | 申请(专利权)人: | 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B01D29/01;B01D29/58 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人: | 李海波;赖智威 |
地址: | 222300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 切割机 浆液 循环系统 中转 | ||
1.一种硅片切割机的浆液循环系统用中转缸,其包括缸体,在所述缸体的一侧壁设有溢水孔和排水孔,所述溢水孔和排水孔分别位于所述缸体的上部和下部,所述溢水孔和排水孔分别与设置在所述缸体外边的汇流管道连接,在连接汇流管道与排水孔的水管上设有用于控制排水的开关阀,在所述缸体的上面设有进水口,其特征在于,在所述进水口处设有过滤装置,通过所述过滤装置对流经的浆液进行预先过滤,所述缸体的内底面向所述排水孔所在侧倾斜。
2.根据权利要求1所述的硅片切割机的浆液循环系统用中转缸,其特征在于,缸体上安装有水泵,水泵的抽水管延伸入缸体内,水泵的出水端与浆液循环系统的过滤桶连接。
3.根据权利要求1所述的硅片切割机的浆液循环系统用中转缸,其特征在于,所述过滤装置包括不锈钢过滤板和过滤网,所述不锈钢过滤板设置在所述进水口处,所述过滤网对应设置在所述不锈钢过滤板的上方,在所述不锈钢过滤板上开设有若干个过滤孔;落向所述进水口的浆液,先冲击在所述过滤网,经过滤网过滤后再流经所述不锈钢过滤板。
4.根据权利要求1所述的硅片切割机的浆液循环系统用中转缸,其特征在于,所述中转缸还包括移动装置,所述缸体安装在所述移动装置上,且所述缸体整体向所述排水孔所在侧倾斜,从而使得所述缸体的内底面向所述排水孔所在侧倾斜。
5.根据权利要求4所述的硅片切割机的浆液循环系统用中转缸,其特征在于,所述移动装置包括四个脚轮,四个所述脚轮分布安装在所述缸体的四个角。
6.根据权利要求1所述的硅片切割机的浆液循环系统用中转缸,其特征在于,所述缸体的内底面的倾斜角度为2°-5°。
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