[实用新型]一种硅片切割机的浆液循环系统用中转缸有效

专利信息
申请号: 201921638117.7 申请日: 2019-09-27
公开(公告)号: CN211221490U 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 杨帆;樊欢欢;王海洋 申请(专利权)人: 晶海洋半导体材料(东海)有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00;B01D29/01;B01D29/58
代理公司: 广州知友专利商标代理有限公司 44104 代理人: 李海波;赖智威
地址: 222300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 切割机 浆液 循环系统 中转
【权利要求书】:

1.一种硅片切割机的浆液循环系统用中转缸,其包括缸体,在所述缸体的一侧壁设有溢水孔和排水孔,所述溢水孔和排水孔分别位于所述缸体的上部和下部,所述溢水孔和排水孔分别与设置在所述缸体外边的汇流管道连接,在连接汇流管道与排水孔的水管上设有用于控制排水的开关阀,在所述缸体的上面设有进水口,其特征在于,在所述进水口处设有过滤装置,通过所述过滤装置对流经的浆液进行预先过滤,所述缸体的内底面向所述排水孔所在侧倾斜。

2.根据权利要求1所述的硅片切割机的浆液循环系统用中转缸,其特征在于,缸体上安装有水泵,水泵的抽水管延伸入缸体内,水泵的出水端与浆液循环系统的过滤桶连接。

3.根据权利要求1所述的硅片切割机的浆液循环系统用中转缸,其特征在于,所述过滤装置包括不锈钢过滤板和过滤网,所述不锈钢过滤板设置在所述进水口处,所述过滤网对应设置在所述不锈钢过滤板的上方,在所述不锈钢过滤板上开设有若干个过滤孔;落向所述进水口的浆液,先冲击在所述过滤网,经过滤网过滤后再流经所述不锈钢过滤板。

4.根据权利要求1所述的硅片切割机的浆液循环系统用中转缸,其特征在于,所述中转缸还包括移动装置,所述缸体安装在所述移动装置上,且所述缸体整体向所述排水孔所在侧倾斜,从而使得所述缸体的内底面向所述排水孔所在侧倾斜。

5.根据权利要求4所述的硅片切割机的浆液循环系统用中转缸,其特征在于,所述移动装置包括四个脚轮,四个所述脚轮分布安装在所述缸体的四个角。

6.根据权利要求1所述的硅片切割机的浆液循环系统用中转缸,其特征在于,所述缸体的内底面的倾斜角度为2°-5°。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于晶海洋半导体材料(东海)有限公司,未经晶海洋半导体材料(东海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921638117.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top