[实用新型]一种硅片切割机的浆液循环系统用中转缸有效

专利信息
申请号: 201921638117.7 申请日: 2019-09-27
公开(公告)号: CN211221490U 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 杨帆;樊欢欢;王海洋 申请(专利权)人: 晶海洋半导体材料(东海)有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00;B01D29/01;B01D29/58
代理公司: 广州知友专利商标代理有限公司 44104 代理人: 李海波;赖智威
地址: 222300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 切割机 浆液 循环系统 中转
【说明书】:

本实用新型公开了一种硅片切割机的浆液循环系统用中转缸,其包括缸体,在缸体的一侧壁设有溢水孔和排水孔,溢水孔和排水孔分别位于缸体的上部和下部,溢水孔和排水孔分别与设置在缸体外边的汇流管道连接,在连接汇流管道与排水孔的水管上设有用于控制排水的开关阀,在缸体的上面设有进水口,缸体的内底面向排水孔所在侧倾斜,在进水口处设有过滤装置,通过过滤装置对流经的浆液进行预先过滤。本实用新型能降低了切割的不良率。

技术领域

本实用新型涉及一种硅片切割机的浆液循环系统用中转缸。

背景技术

在光伏行业内已大面积推广采用金刚线对硅片进行切割,这也使得硅片厚度能从原来的200um降至目前的165um,硅片的整体厚度降低17.5%,相应单刀硅粉产生量增加17.5%。

在硅片切割机切割过程中产生的硅粉会跟随浆液流入中转缸,再通过水泵从中转缸将浆液输送至过滤桶进行过滤,之后重新循环至硅片切割机中参与切割。

为了应对硅粉产生量的增加,降低硅粉以及杂质进入切割机,现有的做法是增加过滤桶中的过滤袋的目数,而随着过滤袋的目数越来越高,硅粉容易堵住过滤袋,从而会降低切割流量,引起TTV/线痕、断线等不良后果。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题,就是提供一种能降低了切割的不良率的硅片切割机的浆液循环系统用中转缸,

解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案如下:

一种硅片切割机的浆液循环系统用中转缸,其包括缸体,在缸体的一侧壁设有溢水孔和排水孔,溢水孔和排水孔分别位于缸体的上部和下部,溢水孔和排水孔分别与设置在缸体外边的汇流管道连接,在连接汇流管道与排水孔的水管上设有用于控制排水的开关阀,在缸体的上面设有进水口,其特征在于,在进水口处设有过滤装置,通过过滤装置对流经的浆液进行预先过滤,缸体的内底面向排水孔所在侧倾斜。

进一步的,缸体上安装有水泵,水泵的抽水管延伸入缸体内,水泵的出水端与浆液循环系统的过滤桶连接。

进一步的,过滤装置包括不锈钢过滤板和过滤网,不锈钢过滤板设置在进水口处,过滤网对应设置在不锈钢过滤板的上方,在不锈钢过滤板上开设有若干个过滤孔;落向进水口的浆液,先冲击在过滤网,经过滤网过滤后再流经不锈钢过滤板。

进一步的,中转缸还包括移动装置,缸体安装在移动装置上,且缸体整体向排水孔所在侧倾斜,从而使得缸体的内底面向排水孔所在侧倾斜。

进一步的,移动装置包括四个脚轮,四个脚轮分布安装在缸体的四个角。

进一步的,缸体的内底面的倾斜角度为2°-5°。

与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:

1、本实用新型在进水口设置过滤装置对流经的浆液进行预先过滤,从而减少进入缸体内部硅粉以及杂质,进而减小硅片切割机的浆液循环系统的负担。在每隔一段时间进行的废水排放过程中,由于缸体的内底面向排水孔所在侧倾斜,使得沉积在缸体底部的硅粉及杂质会更容易跟随废水从排水孔排出,减少残留物。过滤装置及倾斜设置均减少硅粉以及杂质再次带入切割系统,从而降低了切割的不良率。

2、倾斜设置使得硅粉能更彻底的排放干净,从而可降低洗缸频率(单次洗缸时间约30min),减少操作时间,提升切割效率。

3、本实用新型的过滤装置为双层过滤结构,包括不锈钢过滤板和过滤网,过滤网能先对落下的浆液进行缓冲,减少对不锈钢过滤板的冲击,且双层过滤结构能更充分的对浆液进行预先过滤。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型的立体示意图;

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