[实用新型]一种硅片传输装置

权利要求书

1.一种硅片传输装置，其特征在于，包括机械手、承载台(2)及运输机构(1)，所述机械手用于将硅片(9)逐片叠放于所述承载台(2)上，所述承载台(2)能带动叠放的所述硅片(9)升降，以将叠放的所述硅片(9)放置于所述运输机构(1)上，所述运输机构(1)用于将所述硅片(9)运输至指定位置。

2.如权利要求1所述的硅片传输装置，其特征在于，所述承载台(2)和所述运输机构(1)二者中的一个包括相对设置的两个支撑部(21)，另一个设置于两个所述支撑部(21)之间，所述硅片(9)能搭接于两个所述支撑部(21)上。

3.如权利要求2所述的硅片传输装置，其特征在于，所述承载台(2)包括相对设置的两个所述支撑部(21)，每个所述支撑部(21)上均设置有凹槽(211)，两个所述支撑部(21)上相对的两个所述凹槽(211)围成容纳所述硅片(9)的容纳槽。

4.如权利要求3所述的硅片传输装置，其特征在于，所述承载台(2)上沿所述运输机构(1)的传输方向设置有多个所述容纳槽。

5.如权利要求1-4中任一项所述的硅片传输装置，其特征在于，所述硅片传输装置还包括：

感应器(14)，所述感应器(14)被配置为检测叠放的所述硅片(9)是否放置于所述运输机构(1)上。

6.如权利要求1-4中任一项所述的硅片传输装置，其特征在于，所述运输机构(1)包括：

传送带组件(12)，所述传送带组件(12)用于运输所述硅片(9)；及

伸缩台(13)，所述伸缩台(13)设置于所述传送带组件(12)的传送终端，所述伸缩台(13)能沿承接所述传送带组件(12)运输的所述硅片(9)，并带动所述硅片(9)伸入所述指定位置。

7.如权利要求6所述的硅片传输装置，其特征在于，所述运输机构(1)还包括：

安装架，所述安装架包括相对设置的两个侧支架(11)，每个所述侧支架(11)上装设有一所述传送带组件(12)，所述伸缩台(13)设置于两个所述侧支架(11)之间且能相对所述侧支架(11)沿所述传送带组件(12)的运输方向滑动。

8.如权利要求1-4中任一项所述的硅片传输装置，其特征在于，所述硅片传输装置还包括：

放置台(3)，所述放置台(3)被配置为承载收纳机构，所述指定位置位于所述收纳机构内；及

升降机构(4)，所述升降机构(4)被配置为驱动所述放置台(3)升降。

9.如权利要求8所述的硅片传输装置，其特征在于，所述硅片传输装置还包括：

输入机构(5)，所述输入机构(5)被配置为向所述放置台(3)运输所述收纳机构；及

输出机构(6)，所述输出机构(6)被配置为将满载硅片的所述收纳机构由所述放置台(3)输出。

10.如权利要求9所述的硅片传输装置，其特征在于，所述硅片传输装置还包括：

辅助运输机构(7)，设置于所述放置台(3)上，所述辅助运输机构(7)被配置为承接所述输入机构(5)传入的所述收纳机构，以及将满载硅片的所述收纳机构输送至所述输出机构(6)。