[实用新型]一种管式PECVD炉管防尘结构

权利要求书

1.一种用于管式PECVD炉管防尘结构，其特征在于：包括炉管本体（1）内平行设置的一对沿炉管本体轴向方向布置的支撑板（2），两块所述支撑板（2）固定设置在炉管本体（1）中上部的两侧内壁上且两块所述支撑板（2）沿炉管本体中心垂线对称布置，所述炉管本体（1）内还能够铺设位于两块支撑板的上方的防护板（3），两块支撑板（2）之间设置有间距并能够使炉管本体内的浆料通过该间距直接与防护板（3）接触，所述炉管本体（1）内放置有位于防护板下方的石墨舟。

2.按照权利要求1所述的管式PECVD炉管防尘结构，其特征在于：所述防护板（3）的长度大于石墨舟的长度。

3.按照权利要求1或2所述的管式PECVD炉管防尘结构，其特征在于：所述炉管本体（1）、支撑板（2）以及防护板（3）的材质均为石英。

4.按照权利要求3所述的管式PECVD炉管防尘结构，其特征在于：所述防护板（3）的形状为方形结构或左右两侧边缘为圆弧状结构的平板。

5.按照权利要求1、2或4所述的管式PECVD炉管防尘结构，其特征在于：所述两块支撑板（2）上均镶嵌有便于防护板移动的石英滚珠。

6.按照权利要求5所述的管式PECVD炉管防尘结构，其特征在于：所述防护板（3）通过浆料输送至炉管本体（1）内，所述防护板（3）进入到炉管本体内并达到支撑板上方后控制浆料下降，从而使防护板降至支撑板上。

7.一种适用于管式PECVD炉管防尘结构的镀膜设备，其特征在于：包括沉积氮化硅薄膜和沉积非晶硅薄膜的设备。