[实用新型]一种硅片反应炉的一体式炉门

权利要求书

1.一种硅片反应炉的一体式炉门，包括反应炉(1)，其特征在于：所述反应炉(1)正面的右侧固定连接有限位杆(2)，所述限位杆(2)的上下两端分别螺纹套接有固定螺栓(3)，且上下两端的固定螺栓(3)上分别卡接有合页(4)，所述限位杆(2)左侧的中部固定连接有固定框(5)，所述合页(4)的数量有两个，两个所述合页(4)的两侧分别卡接在固定框(5)的右侧和限位杆(2)的左侧，所述固定框(5)的中部焊接有门板(6)，所述固定框(5)左侧的中部开设有活动槽(7)，且活动槽(7)的内腔卡接有向外伸出的控制杆(8)，所述控制杆(8)远离活动槽(7)的一端固定套接有隔热皮套(9)，所述反应炉(1)正面的中部开设有圆形的炉口(10)，所述炉口(10)的直径值小于固定框(5)的直径值，所述固定框(5)内腔远离限位杆(2)的一侧安装有壳体(11)，且壳体(11)的内腔活动套接有向外伸出的伸缩块(12)，所述炉口(10)左侧的中部开设有与伸缩块(12)相匹配的卡口，所述伸缩块(12)的底面固定连接有卡板(14)，且壳体(11)的底面与卡板(14)底面的中部分别固定连接在弹簧(13)的两端，所述壳体(11)正面的中部开设有滑槽(15)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片反应炉的一体式炉门，其特征在于：所述合页(4)的左右两侧分别开设有圆孔，两侧所述圆孔的数量分别有两个，且每个圆孔上均卡接有固定螺栓(3)。

3.根据权利要求1所述的一种硅片反应炉的一体式炉门，其特征在于：所述隔热皮套(9)的长度值为15cm，且直径值与控制杆(8)的直径值相等，所述隔热皮套(9)的上下两侧分别固定连接有防滑片。

4.根据权利要求1所述的一种硅片反应炉的一体式炉门，其特征在于：所述伸缩块(12)远离壳体(11)内腔一端的顶部为光滑的曲面，所述伸缩块(12)的重力值远小于弹簧(13)的弹力值。

5.根据权利要求1所述的一种硅片反应炉的一体式炉门，其特征在于：所述卡板(14)的左右两侧分别固定连接有卡块，所述壳体(11)内腔的左右两侧分别开设有条状槽，且卡块卡接在两侧的条状槽上。

6.根据权利要求1所述的一种硅片反应炉的一体式炉门，其特征在于：所述控制杆(8)位于活动槽(7)内腔的一端固定连接有拨动块，所述拨动块的大小与卡板(14)的大小相等，且卡板(14)与拨动块相接触。