[实用新型]一种硅片反应炉的一体式炉门

说明书

本实用新型涉及硅片反应设备技术领域，且公开了一种硅片反应炉的一体式炉门，包括反应炉，所述反应炉正面的右侧固定连接有限位杆，所述限位杆的上下两端分别螺纹套接有固定螺栓，且上下两端的固定螺栓上分别卡接有合页，所述限位杆左侧的中部固定连接有固定框，所述合页的数量有两个，两个所述合页的两侧分别卡接在固定框的右侧和限位杆的左侧，所述固定框的中部焊接有门板。该硅片反应炉的一体式炉门，通过将固定框与门板焊接为一体的设计，同时配合金属门板的共同使用，替代了传统炉门中部为玻璃门的设置，在保证了炉门密闭性良好的情况下，还可以避免玻璃门在高温下破裂伤人的情况，体现了装置的安全性。

技术领域

本实用新型涉及硅片反应设备技术领域，具体为一种硅片反应炉的一体式炉门。

背景技术

硅片是制作晶体管和集成电路的原料，一般是单晶硅的切片，所谓硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，科学技术的发不断推动着半导体的发展，自动化和计算机等技术发展，使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度，硅片不仅仅运用在航天航空、工业、农业和国防等领域，也逐渐进入到每户家庭。

部分硅片在生产过程中，常常会需要反应炉进行加工处理，但是传统的反应炉的炉门为环形，中部为玻璃门，长时间处于高温作用下可能会出现破裂的情况，不利于硅片的生产加工；同时，当硅片反应完毕之后，其炉门仍然处于高温状态，这时开启炉门十分不便，甚至会出现烫伤人员的情况，有鉴于此，提出一种硅片反应炉的一体式炉门来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片反应炉的一体式炉门，具备安全实用和便捷的优点，解决了上述背景技术中提出的问题。

本实用新型提供如下技术方案：一种硅片反应炉的一体式炉门，包括反应炉，所述反应炉正面的右侧固定连接有限位杆，所述限位杆的上下两端分别螺纹套接有固定螺栓，且上下两端的固定螺栓上分别卡接有合页，所述限位杆左侧的中部固定连接有固定框，所述合页的数量有两个，两个所述合页的两侧分别卡接在固定框的右侧和限位杆的左侧，所述固定框的中部焊接有门板，所述固定框左侧的中部开设有活动槽，且活动槽的内腔卡接有向外伸出的控制杆，所述控制杆远离活动槽的一端固定套接有隔热皮套，所述反应炉正面的中部开设有圆形的炉口，所述炉口的直径值小于固定框的直径值，所述固定框内腔远离限位杆的一侧安装有壳体，且壳体的内腔活动套接有向外伸出的伸缩块，所述炉口左侧的中部开设有与伸缩块相匹配的卡口，所述伸缩块的底面固定连接有卡板，且壳体的底面与卡板底面的中部分别固定连接在弹簧的两端，所述壳体正面的中部开设有滑槽。

优选的，所述合页的左右两侧分别开设有圆孔，两侧所述圆孔的数量分别有两个，且每个圆孔上均卡接有固定螺栓。

优选的，所述隔热皮套的长度值为15cm，且直径值与控制杆的直径值相等，所述隔热皮套的上下两侧分别固定连接有防滑片。

优选的，所述伸缩块远离壳体内腔一端的顶部为光滑的曲面，所述伸缩块的重力值远小于弹簧的弹力值。

优选的，所述卡板的左右两侧分别固定连接有卡块，所述壳体内腔的左右两侧分别开设有条状槽，且卡块卡接在两侧的条状槽上。

优选的，所述控制杆位于活动槽内腔的一端固定连接有拨动块，所述拨动块的大小与卡板的大小相等，且卡板与拨动块相接触。

与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：

1、该硅片反应炉的一体式炉门，通过将固定框与门板焊接为一体的设计，同时配合金属门板的共同使用，替代了传统炉门中部为玻璃门的设置，在保证了炉门密闭性良好的情况下，还可以避免玻璃门在高温下破裂伤人的情况，体现了装置的安全性。