[实用新型]铬蚀刻液生产设备有效
申请号: | 201921649743.6 | 申请日: | 2019-09-30 |
公开(公告)号: | CN211036110U | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 童晨 | 申请(专利权)人: | 昆山晶科微电子材料有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08;B01F3/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蚀刻 生产 设备 | ||
1.铬蚀刻液生产设备,其特征在于,包括混合罐、过滤器和恒温水循环机,所述混合罐通过管道将铬蚀刻液输送至所述过滤器中,所述管道外部包覆有保温装置;所述保温装置主要由两块保温套、分水器一和分水器二构成,两块所述保温套之间活动连接,所述分水器一的总接头与所述恒温水循环机的出水口连接,所述分水器二的总接头与所述恒温水循环机的进水口连接,所述保温套中嵌入有连续弯曲的软管,所述软管的一端与所述分水器一的分水口连接,另一端与所述分水器二的分水口连接。
2.根据权利要求1所述的铬蚀刻液生产设备,其特征在于,两块所述保温套之间通过魔术贴或者拉链实现活动连接。
3.根据权利要求1所述的铬蚀刻液生产设备,其特征在于,所述保温套的两条边缘处设置有连接块,两块所述保温套的连接块对接后通过紧固件实现活动连接。
4.根据权利要求1所述的铬蚀刻液生产设备,其特征在于,所述保温套中沿其长度方向设置有数根连续弯曲的软管。
5.根据权利要求1所述的铬蚀刻液生产设备,其特征在于,所述管道的弯曲处开设有一圆孔,所述圆孔中安装有一堵头,所述堵头位于所述管道内的一端凸出于管壁。
6.根据权利要求5所述的铬蚀刻液生产设备,其特征在于,所述堵头的凸出长度为2mm。
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