[实用新型]铬蚀刻液生产设备有效

专利信息
申请号: 201921649743.6 申请日: 2019-09-30
公开(公告)号: CN211036110U 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 童晨 申请(专利权)人: 昆山晶科微电子材料有限公司
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08;B01F3/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 蚀刻 生产 设备
【权利要求书】:

1.铬蚀刻液生产设备,其特征在于,包括混合罐、过滤器和恒温水循环机,所述混合罐通过管道将铬蚀刻液输送至所述过滤器中,所述管道外部包覆有保温装置;所述保温装置主要由两块保温套、分水器一和分水器二构成,两块所述保温套之间活动连接,所述分水器一的总接头与所述恒温水循环机的出水口连接,所述分水器二的总接头与所述恒温水循环机的进水口连接,所述保温套中嵌入有连续弯曲的软管,所述软管的一端与所述分水器一的分水口连接,另一端与所述分水器二的分水口连接。

2.根据权利要求1所述的铬蚀刻液生产设备,其特征在于,两块所述保温套之间通过魔术贴或者拉链实现活动连接。

3.根据权利要求1所述的铬蚀刻液生产设备,其特征在于,所述保温套的两条边缘处设置有连接块,两块所述保温套的连接块对接后通过紧固件实现活动连接。

4.根据权利要求1所述的铬蚀刻液生产设备,其特征在于,所述保温套中沿其长度方向设置有数根连续弯曲的软管。

5.根据权利要求1所述的铬蚀刻液生产设备,其特征在于,所述管道的弯曲处开设有一圆孔,所述圆孔中安装有一堵头,所述堵头位于所述管道内的一端凸出于管壁。

6.根据权利要求5所述的铬蚀刻液生产设备,其特征在于,所述堵头的凸出长度为2mm。

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