[实用新型]铬蚀刻液生产设备有效
申请号: | 201921649743.6 | 申请日: | 2019-09-30 |
公开(公告)号: | CN211036110U | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 童晨 | 申请(专利权)人: | 昆山晶科微电子材料有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08;B01F3/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蚀刻 生产 设备 | ||
本实用新型公开了铬蚀刻液生产设备,包括混合罐、过滤器和恒温水循环机,混合罐通过管道将铬蚀刻液输送至过滤器中,管道外部包覆有保温装置;保温装置主要由两块保温套、分水器一和分水器二构成,两块保温套之间活动连接,分水器一的总接头与恒温水循环机的出水口连接,分水器二的总接头与恒温水循环机的进水口连接,保温套中嵌入有连续弯曲的软管,软管的一端与分水器一的分水口连接,另一端与分水器二的分水口连接。本实用新型通过恒温水循环机向保温套中持续注入循环的温水给管道保温,如此便可防止铬蚀刻液在管道中冷却而造成结晶析出,保证了铬蚀刻液产品的质量稳定性。
技术领域
本实用新型涉及一种铬蚀刻液生产设备。
背景技术
铬蚀刻液的各组分在混合罐中混合均匀经过滤器滤去杂质便可进行分装销售。冬季气温较低,连接混合罐与过滤器之间的管道中经常会有结晶析出,如果这些结晶重新溶解进流动的蚀刻液中,则会造成铬蚀刻液的浓度增加,影响铬蚀刻液产品的质量稳定性。
实用新型内容
本实用新型提出了一种铬蚀刻液生产设备,以解决上述背景技术中提出的问题。
为达前述目的,本实用新型提供的技术方案如下:
铬蚀刻液生产设备,包括混合罐、过滤器和恒温水循环机,所述混合罐通过管道将铬蚀刻液输送至所述过滤器中,所述管道外部包覆有保温装置;所述保温装置主要由两块保温套、分水器一和分水器二构成,两块所述保温套之间活动连接,所述分水器一的总接头与所述恒温水循环机的出水口连接,所述分水器二的总接头与所述恒温水循环机的进水口连接,所述所述保温套中嵌入有连续弯曲的软管,所述软管的一端与所述分水器一的分水口连接,另一端与所述分水器二的分水口连接。
本实用新型除上述技术方案外,还包括以下技术特征:
进一步的是,两块所述保温套之间通过魔术贴或者拉链实现活动连接。
进一步的是,所述保温套的两条边缘处设置有连接块,两块所述保温套的连接块对接后通过紧固件实现活动连接。
进一步的是,所述保温套中沿其长度方向设置有数根连续弯曲的软管。
进一步的是,所述管道的弯曲处开设有一圆孔,所述圆孔中安装有一堵头,所述堵头位于所述管道内的一端凸出于管壁。
优选地,所述堵头的凸出长度为2mm。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1.通过恒温水循环机向保温套中持续注入循环的温水给管道保温,如此便可防止铬蚀刻液在管道中冷却而造成结晶析出,保证了铬蚀刻液产品的质量稳定性;
2.采用两块保温套包裹在管道外部,可以根据车间温度决定是否拆除保温套,如此便可关闭恒温水循环机,降低了企业的电力使用成本;
3.在管道弯曲处设置堵头,将堵头拔出,通过堵头上的结晶情况可以更直观地判断管道内壁上是否附着有结晶;
4.关闭混合罐的出液口与过滤器的进液口,并通过管道上的圆孔向管道内部注入去离子水溶解管道内部上的结晶,如此便可消除结晶。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1是实施例一中公开的铬蚀刻液生产设备的结构图;
图2是实施例一中公开的保温装置的结构图;
图3是实施例一中公开的保温套的结构图;
图4是实施例一中公开的保温套的另一种结构图;
图5是实施例二中公开的管道的局部结构图。
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