[实用新型]一种具有氮化镁壳层的氧化镍/锌镍氧/氧化锌器件

权利要求书

1.一种具有氮化镁壳层的氧化镍/锌镍氧/氧化锌器件，其特征在于，该具有氮化镁壳层的氧化镍/锌镍氧/氧化锌器件包括氧化锌薄层、氧化镍薄层、锌镍氧超薄层和氮化镁层；

所述的氧化锌薄层为梯形截面的圆台，厚度为300μm；氧化锌薄层的上表面为氧化锌单晶锌极化面，直径为10mm；氧化锌薄层的下表面为氧化锌单晶氧极化面，直径为12mm；

所述的锌镍氧超薄层位于氧化锌单晶锌极化面上，其直径为10mm、厚度为3nm～10nm的圆台；锌镍氧超薄层的圆心与氧化锌单晶锌极化面的圆心重合；

所述的氧化镍薄层位于锌镍氧超薄层上，其直径为10mm、厚度为0.1μm～2μm的圆台；氧化镍薄层的圆心与氧化锌单晶锌极化面的圆心重合；

所述的氧化镍薄层上表面、氧化锌单晶氧极化面以及器件侧面为氮化镁层，其厚度为10nm～100nm；

所述的氧化镍薄层侧的氮化镁层上开有一个直径为8mm～10mm的孔，露出氧化镍，孔的圆心与氧化锌单晶锌极化面的圆心重合；氧化镍薄层的开孔上连接有圆形Ni/Au欧姆接触电极，直径为8mm～10mm，圆心与开孔圆心重合，Ni电极厚度为10nm～200nm，Au电极厚度为0.01μm～1μm；

所述的氧化锌单晶氧极化面侧的氮化镁层上开有一个直径为8mm～12mm的孔，露出氧化锌，孔的圆心与氧化锌单晶氧极化面的圆心重合；氧化锌单晶氧极化面侧的开孔上连接有圆形Al/Au欧姆接触电极，直径为8mm～12mm，圆心与开孔圆心重合，Al电极厚度为10nm～200nm，Au电极厚度为0.01μm～1μm。