[实用新型]一种半导体探针测试治具有效
| 申请号： | 201921655213.2 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN210775605U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 向俊武;周游;陈小跃;陈浩 | 申请（专利权）人： | 安测半导体技术（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 探针 测试 | ||
1.一种半导体探针测试治具，包括下固定座，配合下固定座设置的上固定座，其特征在于，所述下固定座上设置有固定台，上固定座下面设置有伸出气缸组件，所述伸出气缸组件下面配合设置有探针测试组件，所述探针测试组件设置有若干组，所述探针测试组件排布设置有若干组，所述固定台上设置有限位组件，所述探针测试组件对应限位组件设置；所述探针测试组件包括设置在限位组件左侧的左侧探针限位部，设置在限位组件右侧的右侧探针限位部，设置在限位组件上面的上侧探针限位部。
2.根据权利要求1所述的一种半导体探针测试治具，其特征在于：所述左侧探针限位部和右侧探针限位部之间错开设置，所述上侧探针限位部分别与左侧探针限位部、右侧探针限位部之间错开设置。
3.根据权利要求1所述的一种半导体探针测试治具，其特征在于：所述左侧探针限位部、右侧探针限位部和上侧探针限位部分别包括若干组探针测试组件，相邻的探针测试组件错开设置，所述探针测试组件包括纵向设置的中心探针，用于连接中心探针和伸出气缸组件的中心探针连接座，设置在中心探针中心的弹性挡圈，设置在弹性挡圈上面的上弹簧组件，设置在弹性挡圈下面的下弹簧组件，设置中心探针下面的探针头，设置在探针头外周的下限位套，设置在中心探外周的上限位套。
4.根据权利要求3所述的一种半导体探针测试治具，其特征在于：所述上弹簧组件设置在伸出气缸组件和弹性挡圈之间，所述下弹簧组件设置在弹性挡圈和下限位套之间。
5.根据权利要求3所述的一种半导体探针测试治具，其特征在于：所述探针头呈扁平形状设置，所述探针头的两侧分别设置有限位柱，下限位套的两侧配合限位柱设置有限位腰型孔。
6.根据权利要求3或4所述的一种半导体探针测试治具，其特征在于：所述上弹簧组件截面的尺寸大于下弹簧组件截面的尺寸。
7.根据权利要求3所述的一种半导体探针测试治具，其特征在于：所述上限位套上设置有凹槽，左侧探针限位部上的凹槽对着限位组件设置，右侧探针限位部上的凹槽对着限位组件设置。
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