[实用新型]晶圆级芯片封装结构有效
申请号: | 201921656447.9 | 申请日: | 2019-09-30 |
公开(公告)号: | CN211045375U | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 徐罕;陈彦亨;吴政达;林正忠;薛亚媛 | 申请(专利权)人: | 中芯长电半导体(江阴)有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/31;H01L23/485;H01L21/60 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 佟婷婷 |
地址: | 214437 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶圆级 芯片 封装 结构 | ||
1.一种晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述封装结构包括:
待封装芯片,所述待封装芯片具有相对的第一表面及第二表面;
贴片膜,位于所述待封装芯片的所述第一表面,所述第一表面与所述贴片膜相接触;
导电柱,形成于所述待封装芯片的第二表面,并与所述待封装芯片电连接;
封装层,形成于所述待封装芯片的第二表面并延伸至所述待封装芯片的侧部,且所述导电柱的顶面显露于所述封装层,所述封装层及所述贴片膜将所述待封装芯片包覆;
重新布线层,形成于所述封装层上,所述重新布线层与所述导电柱电连接;以及
金属凸块,形成于所述重新布线层远离所述封装层的一侧,所述金属凸块通过所述重新布线层及所述导电柱实现所述待封装芯片的电性引出。
2.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述贴片膜远离所述待封装芯片一层的表面上还形成有粘附保护层,且所述粘附保护层及所述封装层将所述贴片膜及所述待封装芯片包覆。
3.根据权利要求2所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述粘附保护层包括聚酰亚胺层。
4.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述金属凸块包括锡焊料、银焊料及金锡合金焊料中的一种。
5.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述封装结构还包括图形化表面层,所述图形化表面层形成于所述重新布线层远离所述封装层的一层,且所述图形化表面层显露所述重新布线层上形成所述金属凸块的焊垫区域,所述金属凸块经由所述图形化表面层形成于所述焊垫区域上。
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述贴片膜的大小和所述待封装芯片一致,所述封装层形成于所述待封装芯片上并延伸至所述贴片膜的侧部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造