[实用新型]一种用于硅片切割的主轴箱

权利要求书

1.一种用于硅片切割的主轴箱，包括轴芯(1)，其特征在于：所述轴芯(1)中部由内向外依次套装有轴承内隔圈(12)、轴承外隔圈(11)、套筒(6)，套筒(6)内部设有套筒压缩空气气路(61)、多条套筒冷却水路(62)，轴芯(1)上部表面轴向依次套装有后轴承(13)、后轴承垫圈(16)、锁紧螺母(18)，后轴承(13)由锁紧螺母(18)锁紧，后轴承垫圈(16)、锁紧螺母(18)的外圈套装有后轴承压环(14)、后压盖(15)，后轴承压环(14)与后轴承(13)端面接触，后轴承压环(14)外圈套装套筒(6)，后压盖(15)固定在套筒(6)末端，后压盖(15)上设有多个螺钉孔(19)，通过螺钉将后轴承压环(14)与后压盖(15)固定，压紧轴承外圈，保证后轴承(13)不会窜动，后压盖(15)内部设置有后压盖压缩空气气路(151)、后压盖冷却水路(153)，后压盖(15)上设置有压缩空气进口(152)，压缩空气进口(152)连通后压盖压缩空气气路(151)、套筒压缩空气气路(61)，后压盖(15)上设置有冷却水进口(154)，冷却水进口(154)连通后压盖冷却水路(153)、套筒冷却水路(62)，所述轴芯(1)下部为阶梯结构，设有第一阶梯(101)、第二阶梯(102)、第三阶梯(103)，在轴芯(1)的第一阶梯(101)上由内向外依次套装有前轴承(10)、套筒(6)，在轴芯(1)的第二阶梯(102)上套装有密封盖(8)、密封圈(9)，密封盖(8)、密封圈(9)的外圈依次套装有前轴承压环(7)、套筒(6)，密封盖(8)、密封圈(9)分别镶嵌在前轴承压环(7)的两侧，密封盖(8)端面与轴芯(1)的第二阶梯(102)垂直端面之间设有循环腔(2)，在轴芯(1)的第三阶梯(103)外圈上依次设有前外挡盖(3)、前压盖(5)，前压盖(5)固定在套筒(6)上，前外挡盖(3)固定在前压盖(5)上，罩住前内挡盖(4)，前内挡盖(4)切割成两半，内嵌在轴芯(1)中，前压盖(5)下压前轴承压环(7)，保证前轴承(10)不会窜动，前压盖(5)内圈与轴芯(1)的第三阶梯(103)表面形成储气槽(20)、出气槽(21)，前压盖(5)的径向设有前压盖压缩空气气路(53)，前压盖压缩空气气路(53)与套筒压缩空气气路(61)连通，前外挡盖(3)正下位置设有前外挡盖排泄槽(31)，前内挡盖(4)设有前内挡盖排泄槽(41)，前压盖(5)下方设有从内部往外排泄的前压盖内部排泄孔(51)，下端面有前压盖排泄槽(52)，前外挡盖排泄槽(31)、前内挡盖排泄槽(41)与前压盖内部排泄孔(51)、前压盖排泄槽(52)位于同一位置，且都向下。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割的主轴箱，其特征在于：所述前轴承(10)由多个轴承配对组成。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割的主轴箱，其特征在于：所述后轴承(13)由多个轴承配对组成。