[实用新型]显微镜用晶圆打点装置

权利要求书

1.显微镜用晶圆打点装置，其特征在于，包括：

竖板，用于竖直固定在显微镜的侧壁上；

第一微调架，与所述竖板滑动连接，所述第一微调架沿水平方向滑动；

第二微调架，与所述第一微调架滑动连接，所述第二微调架沿水平方向滑动，且所述第二微调架的滑动方向与所述第一微调架的滑动方向垂直；

第三微调架，与所述第二微调架滑动连接，所述第三微调架沿竖直方向滑动；

打点器，与所述第三微调架转动连接，且转动轴向与所述第二微调架的滑动方向相同，所述打点器的工作端与所述显微镜的用于检测晶圆的光心位置对正。

2.如权利要求1所述的显微镜用晶圆打点装置，其特征在于：所述竖板设有两个，两个所述竖板分别用于竖直固定于所述显微镜的两侧；所述第一微调架与两个所述竖板分别滑动连接。

3.如权利要求2所述的显微镜用晶圆打点装置，其特征在于：其中一个所述竖板的侧壁设有沿水平方向延伸的第一滑槽，另一个所述竖板上设有第一滑块；所述第一微调架的一侧设有与所述第一滑槽滑动连接的滑轨，另一侧连接有第一螺杆，所述第一螺杆沿所述第一微调架的滑动方向穿过所述第一滑块并与所述第一滑块螺纹连接。

4.如权利要求3所述的显微镜用晶圆打点装置，其特征在于：所述第一微调架上还设有第二滑块，所述第二微调架上设有与所述第二滑块滑动连接的第二滑槽，所述第二滑槽上连接有第二螺杆，所述第二螺杆沿所述第二微调架的滑动方向穿过所述第二滑块并与所述第二滑块螺纹连接。

5.如权利要求4所述的显微镜用晶圆打点装置，其特征在于：所述第二微调架上还设有第三滑块，所述第三微调架上设有与所述第三滑块滑动连接且沿竖直方向延伸的第三滑槽，所述第三滑槽上连接有第三螺杆，所述第三螺杆沿竖直方向穿过所述第三滑块并与所述第三滑块螺纹连接。

6.如权利要求1-5任一项所述的显微镜用晶圆打点装置，其特征在于：所述第三微调架上设有转接板，所述转接板的上端与所述第三微调架的侧壁固定连接，下端向靠近所述晶圆的位置延伸并与所述打点器转动连接。

7.如权利要求6所述的显微镜用晶圆打点装置，其特征在于：所述转接板的下端转动连接有安装板，所述安装板的转动轴向与所述第二微调架的滑动方向相同，所述打点器与所述安装板固定连接。

8.如权利要求7所述的显微镜用晶圆打点装置，其特征在于：所述转接板上螺纹连接有锁紧螺栓，所述锁紧螺栓穿过所述转接板的板面并与所述安装板的板面抵接。

9.如权利要求1-5、7-8任一项所述的显微镜用晶圆打点装置，其特征在于：所述打点器包括与所述第三微调架转动连接的固定架、连接于所述固定架上的电磁铁、与所述电磁铁连接的导墨线、与所述固定架连接的墨斗，以及连接于所述墨斗上的针头；

其中，所述导墨线依次穿过所述墨斗、所述针头并与所述显微镜的光心位置对正；所述电磁铁的启闭用于带动所述导墨线在所述针头内伸缩。

10.如权利要求9所述的显微镜用晶圆打点装置，其特征在于：所述电磁铁电连接有脚踏开关。