[实用新型]一种用于原位扫描电镜测试的载物仪

权利要求书

1.一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，其特征在于：包括舱体、第一密封圈、载物台、盖板、细绳、抽气部、密封盖、电池、控制器、电机和遥控器；所述舱体呈阶梯状，包括第一阶梯、第二阶梯和第三阶梯，所述第一阶梯、第二阶梯和第三阶梯均为长方体状，所述第二阶梯的前侧面与所述第一阶梯的后侧面重合，所述第二阶梯的后侧面与所述第三阶梯的前侧面重合；所述第一阶梯的上表面往所述第一阶梯的高度方向开有轴线重合的第一圆槽和第二圆槽，所述第一圆槽直径大于所述第二圆槽直径，所述第二圆槽深度大于所述第一圆槽深度，所述第一密封圈固定安装在所述第一圆槽的底面；所述第一阶梯的前侧面有圆台，所述圆台轴线方向有通腔，所述通腔与所述第二圆槽连通，所述抽气部与所述圆台气密连接，所述抽气部可以在抽真空操作后封闭所述通腔在圆台的一端；所述载物台放置在所述第二圆槽内，所述载物台高度小于所述第二圆槽深度，所述盖板放置在所述第一密封圈上方，所述盖板与所述密封圈贴合，所述抽气部封闭后，所述盖板与所述密封圈能保证所述第一阶梯内部腔体的气密密封；所述第二阶梯的左侧面或右侧面往所述第二阶梯宽度方向开有第三圆槽，所述电池安装在所述第三圆槽内，所述第三圆槽从起始开孔面往内有第一螺纹，所述密封盖有第二螺纹，所述第一螺纹和所述第二螺纹配合，拧紧所述密封盖能够气密密封所述第三圆槽；所述第三圆槽和所述密封盖内安装有导线，所述导线将电池正负极引出第二台阶外部；所述电机固定安装在第三台阶上表面，所述电机壳外转轴上固定安装有绕线器，所述细绳两端分别连接所述盖板和所述绕线器；所述遥控器包括电池和无线信号输出模块；所述控制器包括无线信号接收模块和电机控制模块，所述电池、无线信号接收模块和电机控制模块形成并联电路，所述电机与所述控制模块连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，其特征在于：所述第二阶梯在所述第一阶梯和所述第三阶梯中间位置，所述第二阶梯的左侧面、右侧面和下底面分别与另两个阶梯的左侧面、右侧面和下底面对应在同一平面上。

3.根据权利要求1所述的一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，其特征在于：所述盖板为长方体状，所述第一阶梯上表面有凸起和两个大小形状一致，方向正对的限位卡扣，两所述限位卡扣之间的距离等于或略大于所述盖板的宽度，两所述限位卡扣限制所述盖板水平方向只能沿所述舱体长度方向运动，高度方向的活动范围不接触电镜探头；所述凸起高度大于所述第一密封圈高出所述第一阶梯上表面的高度；所述盖板与所述第一密封圈气密闭合时，其一边与所述凸起接触，但不被所述凸起抬起。

4.根据权利要求1所述的一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，其特征在于：所述第一圆槽底面竖直方向截面为半圆形，所述第一圆槽底面与所述第一密封圈表面贴合。

5.根据权利要求1所述的一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，其特征在于：所述控制器还包括塑料外壳，所述无线信号接收模块和电机控制模块安装在所述塑料外壳内。

6.根据权利要求1所述的一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，其特征在于：所述密封盖上有一字槽或十字槽。

7.根据权利要求1所述的一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，其特征在于：还包括第二密封圈，所述第二密封圈套接在所述密封盖上。

8.根据权利要求1所述的一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，其特征在于：所述载物台为直径小于所述第二圆槽直径的圆柱体。

9.根据权利要求1所述的一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，其特征在于：所述抽气部包括单向阀和软管，所述软管两端分别与所述圆台和所述单向阀气密连接。

10.根据权利要求1所述的一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，其特征在于：所述通腔在所述第一阶梯内绕行340°后再与所述第二圆槽连通。