[实用新型]一种用于原位扫描电镜测试的载物仪

说明书

本实用新型涉及样品台领域，特别涉及一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，其包括舱体、第一密封圈、载物台、盖板、细绳、抽气部、密封盖、电池、控制器和电机，载物台安装在舱体内，样品装放在载物台上，盖板和抽气部可以对样品所在的空间进行真空密封，遥控器用于控制盖板的开启。本实用新型盖板的开启时机可控，可以确保电镜样品舱内达到真空后再对盖板进行开启，保证样品不受污染，在电镜内实现真空原位测试样品，盖板也可以在电镜样品舱任意真空度下遥控开启，使样品暴露在特定的气压环境下，以完成某些特定环境下的观测试验。

【技术领域】

本实用新型涉及样品台领域，特别涉及一种用于原位扫描电镜测试的载物仪。

【背景技术】

为寻找锂离子电池比容量低，循环寿命短的根本原因，对锂离子电池的性能检测是一种重要手段，原位电镜测试电池极片性能对电池的充放电过程的研究具有重大意义。为了研究锂离子在放电过程中负极中的沉积，需要原位电镜的测试，但是，锂的化学性质非常活泼，把样品由制样间放进扫描电镜的过程中，锂会在空气中被氧化，对样品表面会造成很大损伤，这样电镜的观测结果就不能直接显示人们想看到的真实情况。

为解决样品运输与放进电镜过程中被空气污染的问题，授权公告号为CN207843890 U的中国实用新型公布了一种密封转移装置。但是该密封转移装置没有主动动力系统，是靠负压形成的压力差来对盖板进行开启的，在电镜样品舱未达到真空前，盖板会因压力差产生的作用力提前打开，样品还是有被污染的可能，而且盖板不能在电镜样品舱任一真空度下人为控制开启，无法完成特定气压环境下的观测试验；另外，由于该密封转移装置盖板和舱体为面接触，之间用真空硅胶密封，真空硅胶有较大的粘附力，容易出现其轴孔内的气体无法将盖板推开的情况。

【实用新型内容】

为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，能够主动控制盖板开启的时机，又能保证盖板能够顺利开启。

一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，包括舱体、第一密封圈、载物台、盖板、细绳、抽气部、密封盖、电池、控制器和电机；舱体呈阶梯状，包括第一阶梯、第二阶梯和第三阶梯，第一阶梯、第二阶梯和第三阶梯均为长方体状，第二阶梯的前侧面与第一阶梯的后侧面重合，第二阶梯的后侧面与第三阶梯的前侧面重合；为使生产加工方便，并使在满足使用条件下舱体的体积尽可能小，优选将第二阶梯设置在第一阶梯和第三阶梯中间位置，第二阶梯的左侧面、右侧面和下底面分别与另两个阶梯的左侧面、右侧面和下底面对应在同一平面上；第一阶梯的上表面往第一阶梯的高度方向开有轴线重合的第一圆槽和第二圆槽，第一圆槽直径大于第二圆槽直径，第二圆槽深度大于第一圆槽深度，第一密封圈固定安装在第一圆槽的底面；第一阶梯的前侧面有圆台，圆台轴线方向有通腔，通腔与第二圆槽连通，抽气部与圆台气密连接，抽气部可以在抽真空操作后封闭通腔在圆台的一端；载物台放置在第二圆槽内，载物台高度小于第二圆槽深度，盖板放置在第一密封圈上方，盖板与密封圈贴合，抽气部封闭后，盖板与密封圈能保证第一阶梯内部腔体的气密密封；第二阶梯的左侧面或右侧面往第二阶梯宽度方向开有第三圆槽，电池安装在第三圆槽内，第三圆槽从起始开孔面往内有第一螺纹，密封盖有第二螺纹，第一螺纹和第二螺纹配合，拧紧密封盖能够气密密封第三圆槽；第三圆槽和密封盖内安装有导线，导线将电池正负极引出第二台阶外部；电机固定安装在第三台阶上表面，电机壳外转轴上固定安装有绕线器，细绳两端分别连接盖板和绕线器；遥控器包括电池和无线信号输出模块；控制器包括无线信号接收模块和电机控制模块，电池、无线信号接收模块和电机控制模块形成并联电路，电机与控制模块连接。

进一步地，第二阶梯在第一阶梯和第三阶梯中间位置，第二阶梯的左侧面、右侧面和下底面分别与另两个阶梯的左侧面、右侧面和下底面对应在同一平面上。