[实用新型]一种半导体晶棒V槽磨削装置

说明书

本实用新型涉及一种半导体晶棒V槽磨削装置，属于晶硅加工设备技术领域，包括磨削底座、水平进给机构和磨削机构，所述水平进给机构与磨削底座滑动连接，所述磨削机构与通过高度调整组件与水平进给机构固连，用于在水平方向和竖直方向上调整磨削机构的位置以对晶棒进行开V槽操作，具有操作便捷，开V槽精准的特点。

技术领域

本实用新型属于晶硅加工设备技术领域，具体地说涉及一种半导体晶棒V槽磨削装置。

背景技术

半导体晶棒在切片前，需要对晶棒开Notch槽，半导体晶片Notch槽是指有意在硅片周边上加工成具有规定形状和尺寸的V槽。通过V槽中心的直径平行于规定的低指数晶向，用做识别标示，Notch磨削精度要求很高，要求形位公差在几丝之内。进行开Notch槽磨削时使用的砂轮磨削中心位置精度要求高。直接决定了开Notch精度，中心校准方向至关重要。因此，怎样能够使砂轮的位置能够符合开Notch槽的要求又具有通用性是需要解决的问题。

实用新型内容

针对现有技术的种种不足，现提出一种能够在水平方向和竖直方向进行移动定位的磨削装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种半导体晶棒V槽磨削装置，包括磨削底座、水平进给机构和磨削机构，所述水平进给机构与磨削底座滑动连接，所述磨削机构通过高度调整组件与水平进给机构固连，用于在水平方向和竖直方向上调整磨削机构的位置，用于对晶棒进行开V槽操作。

进一步，所述水平进给机构包括水平进给丝杠和水平进给底座，所述水平进给丝杠沿着水平方向设置，且其与晶棒的长度方向相垂直，所述水平进给丝杠通过丝杠固定座与磨削底座固连，所述水平进给底座与水平进给丝杠的滑块固连，且其沿水平方向滑动。

进一步，所述磨削机构包括V轮旋转组件和V轮旋转支架，所述V轮旋转组件与V轮旋转支架固连，所述V轮旋转组件包括沿着水平方向设置的V槽磨轮和磨削电机，V槽磨轮与磨削电机的输出端相连，所述V轮旋转支架通过高度调整组件与水平进给底座连接。

进一步，所述V轮旋转支架通过两个竖直设置的固定条与所述水平进给底座相连，且两个固定条相互平行。

进一步，所述高度调整组件固设于水平进给底座上且其与所述V轮旋转支架相对设置，其包括竖直调整螺栓和水平调整螺栓，所述竖直调整螺栓通过第一固定块与水平进给底座固连，第一固定块上设置有供竖直调整螺栓贯穿的第一通孔，所述竖直调整螺栓的一端与V轮旋转支架固连，其另一端通过固定螺母与第一固定块固连，所述水平调整螺栓设置于所述固定条的一侧，用于在水平方向固定所述固定条。

进一步，所述水平调整螺栓沿着水平方向设置，其通过第二固定块与水平进给底座固连。

进一步，所述水平进给底座上开设有供V轮旋转支架竖直滑动的竖直定位槽，且所述竖直定位槽设置在两个固定条之间。

本实用新型的有益效果是：

1、磨削底座上设置有水平进给丝杠，水平进给底座通过水平进给丝杠沿着与晶棒的长度方向相垂直的方向进给，以调整其与晶棒在水平方向上的距离，通过水平进给驱动电机驱动，定位精准。

2、V轮旋转支架通过高度调整组件与水平进给底座固连，通过竖直调整螺栓调整V轮旋转支架在竖直方向的位置，适应不直径的晶棒，使用范围广。

3、V轮旋转支架通过竖直调整螺栓调整V槽磨轮的位置，便于对不同直径的晶棒进行开V槽，与水平调整螺栓相配合能够牢固固定V轮旋转支架，有利于提高开V槽的精准度。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的另一整体结构示意图。