[实用新型]一种石英晶片清洗机水槽

权利要求书

1.一种石英晶片清洗机水槽，包括清洗机水槽，其特征在于：所述清洗机水槽由清洗槽和漂洗槽组成，所述清洗槽与漂洗槽之间设有隔板，所述隔板的边缘与所述清洗机水槽的侧壁和底面相接；所述隔板上设有通孔；所述清洗槽的底部和所述漂洗槽的底部分别设有若干清洗进水孔和若干漂洗进水孔；所述清洗进水孔和所述漂洗进水孔的上端分别设有高压导向管，所述高压导向管的底端与所述清洗机水槽底部相接，所述高压导向管底端圆的半径大于上端圆的半径；所述清洗槽的侧壁上部设有出水孔。

2.根据权利要求1所述的一种石英晶片清洗机水槽，其特征在于：所述高压导向管上端圆的侧壁与下端圆的侧壁设于同一竖直面，所述清洗槽内的所述高压导向管的上端方向呈顺时针排列，所述漂洗槽内的所述高压导向管的上端方向呈逆时针排列。

3.根据权利要求2所述的一种石英晶片清洗机水槽，其特征在于：所述高压导向管的下端外侧壁设有螺纹。

4.根据权利要求3所述的一种石英晶片清洗机水槽，其特征在于：所述清洗进水孔和所述漂洗进水孔的内侧壁设有与所述高压导向管下端外侧壁相匹配的螺纹，所述高压导向管的下端外侧壁与所述清洗进水孔的内侧壁和所述漂洗进水孔的内侧壁相接。

5.根据权利要求1所述的一种石英晶片清洗机水槽，其特征在于：所述清洗槽内设有导向管，所述导向管的端部与所述通孔相接，所述导向管与所述隔板呈60度倾斜角。

6.根据权利要求1所述的一种石英晶片清洗机水槽，其特征在于：所述清洗机水槽的内侧壁设有与所述隔板边缘相匹配的凹槽，所述凹槽的底部与所述隔板相接。